지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2018.7
- 수록면
- 320 - 323 (4page)
- DOI
- https://doi.org/10.4313/JKEM.2018.31.5.320
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
SiGe 박막을 평가하기 위하여 우리는 Si 원료로 SiH4와 SiCl4를 사용하고 Ge 원료로 GeCl4를 사용하여 400 ˚C에서 원격 플라즈마 화학기상증착법을 이용하였다. 박막의 성장속도와 박막의 결정성은 각각 주사 전자 현미경과 라만 분광법을 이용하였다. SiGe 박막의 광학적, 전기적 평가는 SiCl4와 SiH4 원료에 따라 각각 비교적으로 연구되었다. SiCl4 원료에 의해서 증착된 SiGe 박막은 SiH4 원료를 이용하여 증착된 SiGe 박막에 비하여 낮은 성장속도와 높은 결정화도를 나타냈다. 자외선-가시광선 분광법은 SiGe의 광학적 밴드갭이 0.88에서 1.22eV까지 범위에서 변한다는 것을 확인하였다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Comparative Analysis of Surface Properties in SiGe Substrates Following wet treatment Using Raman Spectroscopy and Contact Angle Measurements
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
-
94 GHz SiGe 믹서 MMIC 설계
한국통신학회 학술대회논문집
2019 .01
-
W-대역 SiGe BiCMOS 믹서 MMIC 설계 및 제작
대한전자공학회 학술대회
2021 .06
-
점진적 상태 변화 특성을 갖는 수직 채널 구조의 Si/SiGe 이종접합 2단자 사이리스터 동적 랜덤 액세스 메모리
대한전자공학회 학술대회
2020 .11
-
A Wideband H-Band Image Detector Based on SiGe HBT Technology
Journal of Electromagnetic Engineering And Science
2015 .01
-
SiGe HBT 소자를 이용하여 제작된 94 ㎓ 동작을 위한 믹서 MMIC의 특성
대한전자공학회 학술대회
2020 .11
-
플로팅 바디 내 부분적으로 SiGe 층을 갖는 1T DRAM 소자의 성능 향상 분석
대한전자공학회 학술대회
2021 .06
-
Direct Growth of Graphene on a SiGe Alloy Surface by Chemical Vapor Deposition
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2019 .04
-
90-nm SiGe BiCMOS를 이용한 120-160 GHz 차동 저잡음 증폭기 설계
대한전자공학회 학술대회
2024 .11
-
An Oscillator and a Mixer for 140-㎓ Heterodyne Receiver Front-End based on SiGe HBT Technology
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2015 .02
-
Si0.55Ge0.45 박막에 증착되어 인장 응력을 가지는 Si 박막의 변형률 측정
한국정보기술학회논문지
2017 .11
-
Si‐core/SiGe‐shell channel nanowire FET for sub‐10‐nm logic technology in the THz regime
[ETRI] ETRI Journal
2019 .12
-
SiGe을 소스 접합 물질로 사용하는 터널링 전계효과 트랜지스터의 성능 및 짧은 채널 효과 분석
전자공학회논문지
2017 .12
-
1T DRAM with Raised SiGe Quantum Well for Sensing Margin Improvement
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2023 .02
-
피드백 전계 효과를 이용한 Si-SiGe 근적외선 광 트랜지스터
대한전자공학회 학술대회
2023 .06
-
원격 플라즈마에서 NF₃ 가스를 이용한 SiGe의 고선택적 등방성 건식 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
-
PECVD SiO₂의 N₂O/SiH₄ 유량비와 RF 파워 공정 변수가 IGZO 박막 트랜지스터 특성에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
-
차세대 광대역 어플리케이션을 위한 SiGe HBT 기반의 광대역 저손실 Double-Pole Double-Throw 스위치
대한전자공학회 학술대회
2023 .06
-
Fe3O4 박막의 증착 속도에 따른 광학적 특성 변화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
-
High Energy Swift Heavy Ion Irradiation and Annealing Effects on DC Electrical Characteristics of 200 GHz SiGe HBTs
Nuclear Engineering and Technology
2019 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0