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학술저널
저자정보
오명훈 (서울대학교 조선해양공학과 박사과정) 김재현 (삼성전자(주) DIT센터 연구원) 김현석 (한국해양과학기술원 부설 선박해양플랜트연구소 친환경연료추진연구센터 선임연구원) 조선호 (서울대학교 조선해양공학과 교수)
저널정보
한국전산구조공학회 한국전산구조공학회논문집 한국전산구조공학회논문집 제34권 제4호
발행연도
2021.8
수록면
199 - 204 (6page)
DOI
https://doi.org/10.7734/COSEIK.2021.34.4.199

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본 논문에서는 정전기 흡착패드를 구성하는 곡면형 전극의 기하학적 엄밀성을 고려하기 위해 정전기 문제에 대하여 CAD에서 사용하는 NURBS 기저함수를 직접 사용하는 아이소-지오메트릭 해석 기법을 도입하였다. 정전기 흡착력을 곡선 접촉면에서 구하는데 법선 벡터의 영향이 크므로 엄밀한 기하형상을 고려하는 아이소-지오메트릭 해석이 강점을 갖는다. 수치 예제를 통해 곡면과 평면에서 반복 구조의 유무에 따른 파라메터 연구를 수행하여 곡면형 전극의 흡착력이 좋은 성능을 가짐을 보였다. 정전기 흡착력의 성분을 분석하였을 때 정전기 흡착력의 차이는 법선 성분 전기장의 증가로 인한 것으로 파악되었다. 결론적으로 곡면형 전극에서도 전극 사이 거리가 가까워지는 아래로 볼록인 경우가 가장 성능이 좋고, 위로 볼록인 경우에는 성능이 가장 낮음을 보였다.
#NURBS 기저함수 #맥스웰 응력텐서 #정전기학 #아이소-지오메트릭 해석 #정전기 흡착력 #NURBS basis #maxwell stress tensor #electrostatics #isogeometric analysis #electro-adhesive force

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참고문헌 (5)

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Delfino, F. / 2002 / A New FEM Approach for Field and Torque Simulation of Electrostatic Microactuators / J. Microelectromechanical Syst 11(4):362~371 google schola Kanno, S. / 2003 / Generation Mechanism of Residual Clamping Force in a Bipolar Electrostatic Chuck / J. Vac. Sci. & Technol. B: Microelectron. & Nanometer Struct. Process., Measurement, & Phenom 21(6):2371~2377 google schola Koh, K. / 2014 / Experimental Investigation of the Effect of the Driving Voltage of an Electroadhesion Actuator / Mater 7(7):4963~4981 google schola 이승욱 / 2013 / 민들린 평판의 아이소-지오메트릭 형상 설계민감도 해석 / 한국전산구조공학회논문집 26(4):255~262 dbpia Sabermand, V. / 2014 / Study of Parameters Affecting the Electrostatic Attractions Force / Int. J. Electr. Comput. Electron. Commun. Eng 8(11):1628~1631 google schola

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