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자료유형
학술저널
저자정보
Amin Khaliq (부산대학교) Usama Tahir (부산대학교) 정명영 (부산대학교)
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제28권 제4호
발행연도
2021.12
수록면
47 - 50 (4page)

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Nanoimprint lithography (NIL) has revolutionized the fabrications of electronics, photonics, optical and biological devices. Among all the NIL processes, roll-to-roll nanoimprinting is regarded best for having the attributes of low cost, continuous, simple, and energy-efficient process for nanoscale device fabrication. However, large-area printing is limited by the master mold deformation. In this study, a finite element model (FEM) has been constructed to assess the deformation of the roll mold adhesively wrapped on the carbon fiber reinforced material (CFRP) base roll. This study also optimizes the deformations in the metallic roll mold with respect to nip-forces applied in the printing process of nano-fabrication on large scale. The numerical simulations were also conducted to evaluate the deflection in roll mold assembly due to gravity. The results have shown decreasing trend of the deformation with decreasing nip-force. Also, pressure uniformity of about 40% has been optimized by using the current numerical model along with an acceptable deflection value in the vertical axis due to gravity.
#Nanoimprint lithography (NIL) #Roll-to-roll process #Carbon fiber reinforced polymer (CFRP) #Simulation

목차

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참고문헌 (8)

참고문헌 신청
N. Kooy / 2014 / A Review of Roll-to-roll Nanoimprint Lithography / Nanoscale Research Letters 9(1):1~13 google schola J. Y. Shao / 2019 / Nanoimprint Lithography for the Manufacturing of Flexible Electronics / Science China Technological Sciences 62(2):175~198 google schola W. Huang / 2017 / A Review of the Scalable Nano-manufacturing Technology foR Flexible Devices / Frontiers of Mechanical Engineering 12(1):99~109 google schola T. Lee / 2020 / Scalable and High-throughput Top-down Manufacturing of Optical Metasurfaces / Sensors 20(15):4108 google schola 조원경 / 2016 / 액적의 구름저항에 대한 정접촉각 및 거칠기의 영향 / 마이크로전자 및 패키징학회지 23(1):23~28 dbpia

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