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반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .06
[로봇제어자동화 부문] 반도체 제조공정 웨이퍼 스테이지의 모델 기반 위치결정 부스트
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
반도체 웨이퍼 가공 공정의 이상감지 및 분석을 위한 방법론 개발
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2018 .11
Wafer Pattern Recognition Using a 3D Image Processing Method in Semiconductor Manufacturing Process
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2023 .05
Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer
한국정보기술학회논문지
2024 .09
혼류생산 공정에서 예측 불가능한 병목을 고려한 실시간 제품 투입 결정에 관한 연구
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2023 .11
반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2018 .11
고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2024 .10
반도체 3 차원 적층 제조 공정을 위한 장비의 정밀 공학
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
반도체 제작을 위한 웨이퍼 배치 내부 유동 분석
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2017 .11
3세대 반도체 웨이퍼 검사장비 Probe Station 핵심 부품 구조해석
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .04
반도체 제조공정 변수 중요도 도출에 대한 연구
한국통신학회 학술대회논문집
2020 .08
다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발
Proceedings of KIIT Conference
2021 .11
반도체 산업_‘반도체 제작 공정 개선하다’ 장비 출시 소식 모아보기
전자기술
2022 .03
웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석
대한기계학회 논문집 B권
2018 .01
회귀분석을 이용한 반도체 웨이퍼 기울기 조절의 영향 인자 도출 및 개선
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2023 .05
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술
한국산학기술학회 논문지
2021 .01
영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
정상 데이터 복원을 통한 영상 기반 반도체 웨이퍼 결함 검출 기법
대한전자공학회 학술대회
2023 .06
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