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학술저널
저자정보
이민규 (목원대학교) 김기출 (목원대학교)
저널정보
한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제24권 제12호
발행연도
2023.12
수록면
446 - 451 (6page)
DOI
10.5762/KAIS.2023.24.12.446

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오산화 바나듐은 층상 구조를 갖고 있고, 높은 이론적 전기용량을 갖고 있기 때문에 리튬이온배터리의 양극물질로 많은 주목을 받고 있는 물질 중의 하나이다. 또한 광물자원이 풍부한 저가의 소재이다. 본 연구에서는 RF 마그네트론 스퍼터링 공정을 이용하여 SiO₂(300 nm)/Si 기판 위에 3D V₂O<SUB>5</SUB> 나노구조물과 3D V₂O<SUB>5</SUB>@Mo 나노구조물을 증착하였다. 3D V₂O5 나노구조물과 3D V₂O<SUB>5</SUB>@Mo 나노구조물의 표면형상은 전계방출 주사전자현미경(FE-SEM)으로 분석하였고, 결정학적 특성은 X선 회절법(XRD)과 Raman 분광학으로 조사하였다. 분석 결과, RF 마그네트론 스퍼터링 공정조건을 제어하여 3D V₂O5 나노구조물의 형상을 유지하면서 금속 Mo 박막이 얇게 코팅되는 3D V2O5@Mo 나노구조물의 제작 조건을 확보하였다. 이러한 3D V₂O<SUB>5</SUB>@Mo 나노구조물을 리튬이온배터리의 양극소재로 적용한다면 2D V₂O<SUB>5</SUB> 양극 소재보다 우수한 성능의 리튬이온배터리의 개발이 가능할 것으로 기대된다.

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (14)

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