초미세 부품의 고속 대면적 가공과 분석을 위한 플라즈마 집속이온빔 컬럼 및 복합공정 시스템 개발

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저자정보: 장동영 (한국전자기계융합기술원) 박만진 (한국전자기계융합기술원) 박정석 (한국전자기계융합기술원) 김기환 (한국전자기계융합기술원) 원종한 (한국전자기계융합기술원) 박건영 (한국전자기계융합기술원) 박지혜 (한국전자기계융합기술원) 박수현 (한국전자기계융합기술원) 박정남 (한국전자기계융합기술원)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-151-24-02-090057475

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상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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