Optimization of optical modulation in amorphous WO3 thin films

Jiangbin Su; Xiumei Zhu; Longlong Chen; Yu Liu; Hao Qi; Zuming He; Bin Tang

doi:https://doi.org/10.1007/s13391-023-00447-y

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저자정보: Jiangbin Su (Changzhou University) Xiumei Zhu (Changzhou University) Longlong Chen (Changzhou University) Yu Liu (Changzhou University) Hao Qi (Changzhou University) Zuming He (Changzhou University) Bin Tang (Changzhou University)

저널정보: 대한금속·재료학회 Electronic Materials Letters Electronic Materials Letters Vol.20 No.2

발행연도: 2024.3

수록면: 131 - 139 (9page)

DOI: https://doi.org/10.1007/s13391-023-00447-y

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WO 3 thin fi lms were prepared on indium-tin oxide (ITO) glass substrates at diff erent substrate temperature by radiofrequency magnetron sputtering. Then the fi lms were soaked in fi ve organic solvents of acetone, ethanol, cyclohexane,acetonitrile and ethyl acetate for 48 h, respectively. The changes in the microstructure, surface morphology and electrochromic(EC) properties of WO 3 thin fi lms before and after the immersion treatment were systematically studied. It wasfound that after soaking in ethanol, the optical modulation of amorphous WO 3 thin fi lms deposited at room temperatureincreased from 50 to 85%, showing excellent EC performance. Moreover, the immersion treatment in ethanol is also helpfulfor improving the EC properties of amorphous WO 3 thin fi lms prepared at elevated substrate temperature. However,after immersion in the other organic solvents, the optical modulation of WO 3 thin fi lms increased less (for acetone: 77%)or even decreased signifi cantly (for cyclohexane, acetonitrile and ethyl acetate: 31%, 30% and 35%, respectively). In addition,the immersion treatment in ethanol cannot improve the optical modulation of crystalline WO 3 thin fi lms prepared at600 °C, which dropped from 58 to 40%. The authors believe that this is mainly related to the diff erent dredging eff ects ofvarious organic solvents on the transport channels of Li-ions and electrons in WO 3 thin fi lms. Therefore, this work providesa new approach for the optimization of EC performance of amorphous WO 3 thin fi lms.

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