Study of Physical Properties of Hydrogenated Amorphous Silicon Thin Films Using Spectroscopic Ellipsometry

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저자정보: Seung Min Park (Chungbuk National University) Jeong-Ho An (Korea Institute of Energy Research) Jin Young Lee (Chungbuk National University) Ka-Hyun Kim (Chungbuk National University)

이용수

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#Hydrogenated amorphous silicon thin films #Spectroscopic ellipsometry #Optical properties #Film thickness #Tauc-Lorentz model

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