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대영역 박막 두께 측정을 위한 영상타원계측기 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
3차원 박막 두께 측정을 위한 영상타원계측기
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
실시간 다층 박막 구조물 분석 기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
박막 시편의 표면 및 두께 동시 측정 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
방향 판별 분산간섭계의 최적 조건 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
다이나믹 분광타원편광측정 기술 및 응용
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
공간 위상 천이 기반 편광 분산 간섭계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
분산간섭계 원리를 이용한 다채널 광학 갭 센서 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
이색 BS 를 이용한 분산간섭계 한계점 보상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
실시간 3D 형상 측정을 위한 층밀리기 간섭계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
2 차원 주기 구조에 대한 다단계 신경망 기반 분광타원계측 뮬러행렬 분석 알고리즘
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
마이크로 타원계를 이용한 뮐러 행렬 분석 방법 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
광간섭계를 이용한 대형유리기판의 고속 두께 측정 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
광간섭계 시스템의 파장과 측정 거리 최적화를 통한 정밀 진동 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
Study of Physical Properties of Hydrogenated Amorphous Silicon Thin Films Using Spectroscopic Ellipsometry
AFORE
2024 .11
Vertical NAND 다층 구조에서 두께에 따른 SE/SR 신호 변화 분석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
박막 구조 분석을 위한 이중 광간섭계 시스템 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
백색광 간섭계를 이용한 TSV Bottom CD 측정 방법에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .10
초소형 측정 프로브 기반 저간섭성 주사 간섭계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
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