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윤영호 (조선대학교) 주기남 (조선대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2017년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2017.12
수록면
30 - 30 (1page)

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2017

다층 박막 구조물 분석을 위한 간섭계와 타원계측기의 복합 측정 시스템 연구
윤영호 ,  주기남 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2017.12 학술대회자료
다층 박막 구조물 분석을 위한 간섭계와 타원계측기의 복합 측정 시스템 연구
윤영호 광기술공 2017.01 학위논문

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#Spectroscopic imaging ellipsometry #Spectrally-resolved interferometry #Filem structure #Surface profile

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