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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이승준 (Hankuk University of Foreign Studies) 김민준 (Hankuk University of Foreign Studies)
저널정보
한국전기전자학회 전기전자학회논문지 전기전자학회논문지 제28권 제4호
발행연도
2024.12
수록면
613 - 618 (6page)

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본 연구에서는 비전 웨이퍼 얼라인먼트 시스템 구현을 위한 FPGA 기반 템플릿 매칭 블록 설계 기법과 그 결과를 제안한다. 현재 웨이퍼에 새겨진 마커를 찾아 위치를 보정하는 소프트웨어 기반의 비전 웨이퍼 얼라인먼트 시스템의 고속화를 위해, 고해상도의 웨이퍼 이미지를 고속으로 처리하기 위한 NCC(Normalized Cross Correlation) 기반의 템플릿 매칭 알고리즘을 최적화하고 이를 FPGA를 이용하여 구현하였다. NCC 기법은 연산 복잡도가 높고 템플릿 매칭은 템플릿 이미지가 소스 이미지를 픽셀 단위로 슬라이딩하며 유사도를 계산하기 때문에 긴 스캔 시간이 문제가 된다. 본 논문에서는 연산량을 줄이는 슬라이딩 윈도우 방법과 제곱근, 루트, 평균 연산등의 수학 연산을 최적화하여 복잡도를 낮춘 NCC 기법을 제안하고, 이를 적용한 템플릿 매칭 블록을 FPGA로 구현하였다. 성능분석결과 부동 소수점을 갖는 SW 기반의 기존 알고리즘과 비교하여 약 99.98% 감소된 연산 복잡도를 갖음을 확인하였다.
#Vision Alignment #Template Matching #Normalized Cross Correlation #Hardware Accelerator #FPGA Implementation

목차

Abstract
요약
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결론
References

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