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Pb(Zr,Ti)O<sub>3</sub> (PZT) 압전체는 센서, 초음파 모터, ㎛ 이하의 변위를 제어하기 위한 액츄에이터 등에 광범위하게 사용되고 있다. 졸-겔 방법으로 Pt/TiO<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>/Si 기판 위에 700 nm 두께의 PZT 박막을 증착한 후 레이저 도플러 진동계 (Laser Doppler Vibrometer, LDV)를 이용하여 교류 전압에 따른 nm 범위의 미세 변위를 정밀하게 측정하였다. 실리콘 기판 위에 증착한 PZT 박막은 인가 전압에 의해 휘어지는 특성에 의해 기판의 고정 정도에 따라 변위 값이 다르게 측정된다. 이런 기판의 고정 효과에 의한 오차 없이 정확한 측정을 위해 접착제로 기판을 단단한 고정 판에 부착하여 측정하였고 저 전압에서 측정 정밀도를 높이기 위해 스펙트럼 분석기로 레이저 도플러 진동계의 출력 신호를 주파수 영역에서 분석하여 PZT 박막의 nm 변위를 정밀하게 측정하여 45 pm/V의 압전 계수를 얻었다.
목차
I. 서론
II. 실험 방법
III. 결과 및 논의
IV. 결론
REFERENCES
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