목차

목 차................................................................................................................i
List of Figures.............................................................................................iii
List of Table..................................................................................................v
국문 요약.....................................................................................................vi
1. 서론.................................................................................1
1.1 연구 배경...............................................................................................1
1.2 연구 목적 및 내용............................................................................4
2. MEMS 공정을 이용한 고농도 수소 검출 센서 개발..................10
2.1 이론적 배경........................................................................................10
2.2 팔라듐 나노갭 가스 센서의 작동 원리...............................................13
2.3 제작 공정...........................................................................................15
2.4 제작된 팔라듐 나노갭 가스 센서 칩..................................................20
3. 팔라듐 나노갭 가스 센서 성능 평가......................................................22
3.1 성능평가 시스템 구성 및 실험 방법.................................................22
3.2 실험 결과...........................................................................................25
3.2.1 팔라듐 패턴의 너비에 따른 결과.............................................25
3.2.1.1 100μm 를 갖는 팔라듐 패턴……………………………………25
3.2.1.2 200μm 를 갖는 팔라듐 패턴……………………………………27
3.2.2 재연성 확보를 위한 실험............................................................29
3.3 내구성 평가......................................................................................32
4. 결론........................................................................................................35
5. 참고 문헌................................................................................................37
6. Abstract.............................................................................40