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학술대회자료
저자정보
나경환 (국민대학교) 황준호 (국민대학교) 이장현 (국민대학교) 남구현 (국민대학교) 임시형 (국민대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2016년도 학술대회
발행연도
2016.12
수록면
1,002 - 1,005 (4page)

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2016

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고농도 수소 검출을 위한 팔라듐 나노갭 가스 센서 시스템 개발
나경환 기계설계학과 2016.01 학위논문

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This study demonstrates the development of a palladium nano gap based hydrogen sensor system. The nano gap was created on a single-crystal silicon wafer by controlled occurrences of cracking, and this simple process enable the construction of nanoscale sensor platform through easy and low-cost fabrication process. Location and size of nano gap could be precisely controlled on the silicon wafer by manipulating the residual stress of the deposited silicon nitride layer and the stress concentration of fabricated notches. The palladium layer expanding isotropically with an adsorption of hydrogen gas was deposited on the crack pattern, with the thickness of 40 nm. When the palladium with a nano gap was exposed to hydrogen gas, the change of electric current flow between nano gap was monitored. Nano gap hydrogen sensor shows a short response time of < ~15 s for the hydrogen concentration of > ~ 1%.
#Palladium(팔라듐) #Hydrogen(수소) #Nano gap sensor(나노갭센서) #Crack(균열)

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌

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