A New Sacrificial Oxide Layer and Design Consideration for Micromachining

Sung Sul Jung ,  Soon Kwan Hong ,  Sun Woo Pa 외 2명

대한전자공학회 기타 간행물

1992 .01

Extended Sacrificial Bulk Micromachining Process and Its Application to the Fabrication of X-axis Single-crystalline Silicon Micro-gyroscope

Jongpal Kim ,  Sangjun Pa ,  k 외 7명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2003 .10

Micromachining Characteristics of Sacrificial Oxides by Anhydrous HF Gas Phase Etching

W. I. Jang ,  Y. I. Lee ,  C. S. Lee 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

P형 in-situ 도핑 폴리실리콘 막질에 관한 연구

오정섭 ,  이상은 ,  노진태 외 3명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

Dry Release Process of HF Gas-Phase Etching for the Fabrication of Surface Micromachined Polysilicon Actuators

Jong Hyun Lee ,  Won Ick Jang ,  Yong Il Lee 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

인 도핑 다결정 실리콘 산화막의 전기적 특성에 관한 연구 ( A Study on the Electrical Characteristics of Oxide Grown from Phosphorous-Doped Polysilicon )

윤형섭 ,  강상원 ,  박신종

전자공학회논문지

1986 .11

New Method for Estimation of the Grain Boundaries Contribution to the Resistance of Highly Doped Polysilicon

H. G. Chun ,  S. V. Spoutai

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

TeO₂ 첨가에 따른 (Li_0.04(Na_0.56K_0.44)_0.96(Nb_0.9Ta_0.10)_0.998Zn_0.005O₃ 세라믹스의 유전 및 압전 특성

변선민 ,  류주현 ,  홍재일

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .11

기판 막질에 따른 $TEOS-O_3$ 산화막의 증착 특성

안용철 ,  박인선 ,  최지현 외 3명

한국재료학회지

1992 .01

Polysilicon TFT의 파라미터 추출 ( Parameter Extraction for the Polysilicon Thin Film Transistors )

한승엽 ,  조영호 ,  최연익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

다양한 기울기를 갖는 TEOS 필드 산화막의 경사식각

박일용 ,  구진근 ,  김종대 외 1명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Silicon Micromachining

M. Esashi

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

폴리실리콘-산화막 구조의 표면요철에 의한 절연파괴전계 저하에 관한 고찰 ( Lowering of the Breakdown Field by Asperities on the Polysilicon Surface in Polysilicon-Oxide Structure )

이승환 ,  이계신 ,  김성진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

폴리실리콘-산화막 구조의 표면요철에 의한 절연파괴전계 저하에 관한 고찰

이승환 ,  이계신 ,  김성진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석 ( Design, Fabrication and Micromachining Error Evaluation for a Surface-Micromachined Polysilicon Capacitice Accelerometer )

김종팔 ,  한기호 ,  조영호

대한기계학회 논문집 A권

2001 .03

A New Micromachining Technology Using ( 111 ) Silicon

Sang Woo Lee ,  Sang Jun Pa ,  k 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

마이크로머시닝 기술을 이용한 초소형 자이로센서의 연구동향

한승오 ,  박정호

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

희생층이 Poly-Si의 기계적 성질에 미치는 영향 ( The Effect of the sacrificial layers on mechanical properties poly-Si for surface micromachining )

백승호 ,  박재홍 ,  김형동 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

희생층이 Poly-Si의 기계적 성질에 미치는 영향

백승호 ,  박재홍 ,  김형동 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

The Effects of Texture on the Young`s Modulus of Polysilicon

이상우 ,  조동일

대한전자공학회 학술대회

1998 .01