Fabrication of Electrostatic Polysilicon Micro Actuator using HF Vapour Phase Etching Process

이종현 ,  이재열 ,  최부연 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Micromachining Characteristics of Sacrificial Oxides by Anhydrous HF Gas Phase Etching

W. I. Jang ,  Y. I. Lee ,  C. S. Lee 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

HF 증기상 식각과 열처리를 이용한 다결정 규소 미세 구조체의 제작

박경호 ,  이춘수 ,  정영이 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11

The Effects of Image Charge in the Etching of Gate Polysilicon

신화숙 ,  지경구 ,  정찬욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Generation of a Pulse Plasma and its Application to Polysilicon Etching

정찬욱 ,  K. K. Chi ,  Y. B. Koh 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Effect of Dissolved Oxygen and Oxygen Scavenger on the Etch Rate of Polysilicon

Kyong-Ho Lee ,  T ,  an Viet Cuong 외 1명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2020 .02

HF Gas에 의한 Silicon Oxide층의 건식식각

김동석 ,  이상철 ,  최상대 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

DRY ETCHING TECHNOLOGY

Takafumi Tokunaga

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석 ( Design, Fabrication and Micromachining Error Evaluation for a Surface-Micromachined Polysilicon Capacitice Accelerometer )

김종팔 ,  한기호 ,  조영호

대한기계학회 논문집 A권

2001 .03

Etching Behavior of Glass by Atmospheric Pressure Plasma with HF gas

Jong-Joo Rha ,  Hyun-Eui Lim ,  Wan-Doo Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .04

Novel Fabrication of Comb Drive Actuator Using RIE of Polysilicon and ( 110 ) Si Anistropic Bulk Etching in KOH

Hyung Taek Lim ,  Yong Kweon Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

다결정실리콘 표면 미세가공 기술을 이용한 초소형 기계식 스위치의 설계 및 제작

蔡敬洙 ,  한승오 ,  河鍾珉 외 2명

전기학회논문지 C

2000 .09

An Electrostatic Polysilicon Actuator for Micro-Motors

Te ,  unobu Akiyama

대한전자공학회 세미나

1992 .01

Fabrication and Characteristics of a Polysilicon Resistor with Low Temperature Coefficient

이태우 ,  노태문 ,  김천수 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Surface Micromachining of Polysilicon Gyroscope Structures with Symmetrical Doping and TEOS Sacrificial Oxides

Chang Auck Choi ,  Won Ick Jang ,  Chang Seung Lee 외 5명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Influence of Interface Structure on Chemical Etching Process for Air Gap of Microelectromechanical System Based on Surface Micromachining

Y. S. Yoon ,  J. H. Kim ,  D. L. Polla

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Polysilicon TFT의 파라미터 추출 ( Parameter Extraction for the Polysilicon Thin Film Transistors )

한승엽 ,  조영호 ,  최연익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

표면 미세가공기술을 이용한 마이크로 광학소자 및 구동기의 제작

김건년 ,  박광범 ,  정석원 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

Silicon Micromachining

M. Esashi

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Fabrication of Fluid Element Using Silicon Micromachining and Performance Analysis Compared With Measurements

김태현 ,  조동일 ,  최해천 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01