Silicon Micromachining

M. Esashi

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Micromachined Inductors on Silicon Substrates

Hwan Hee. Lee ,  Jae Y. Pa ,  k

대한전자공학회 ISOCC

2005 .10

A New Micromachining Technology Using ( 111 ) Silicon

Sang Woo Lee ,  Sang Jun Pa ,  k 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Fabrication of Fluid Element Using Silicon Micromachining and Performance Analysis Compared With Measurements

김태현 ,  조동일 ,  최해천 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Fabrication of Nanometer Scale Structure Using Thin Film Stress

Dong Il Pa ,  k ,  Sung Ho Hahm 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Silicon-on-insulator 구조를 갖는 실리콘 압저항 가속도계의 제작 ( Fabrication of a Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure )

양의혁 ,  양상식 ,  황성호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

Silicon-On-Insulator의 실온제조 ( Silicon-On-Insulator Fabricated at Room Temperature )

이종현 ,  최광돈 ,  강성원 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1988 .01

Silicon Micromachined RF Components : Review

Jong-Gwan Yook

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

Poly-Si/$SiO_2$/Si 기판위에 증착된 코발트실리사이드의 전기적 특성

노영규 ,  장호정

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

$Al_2O_3$/si 기판위에 형성한 (Bi,La)$Ti_3O_{12}$ 박막의 특성

황선환 ,  장호정 ,  장영철

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Silicon Micro-probe Card Using Porous Silicon Micromachining Technology

Young-Min Kim ,  Ho-Cheol Yoon ,  Jong-Hyun Lee

[ETRI] ETRI Journal

2005 .08

A Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1994 .06

Performance Characteristics of a Silicon Micromachined Thermal Flow Sensor for Species of Gases

Sung-Cheoul Roh ,  Yong-Moon Choi

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

2006 .06

Demonstration of Robust Micromachined Jet Technology and Its Application to Realistic Flow Control Problems

Sung Pil Chang

Journal of Mechanical Science and Technology

2006 .04

미세공정을 이용한 p+ 실리콘 전극 제작 및 플라즈마 실험

공현구 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

2018 .10

Silicon Micromachining Technologies at Nagoya University

Kazuo Sato

대한기계학회 춘추학술대회 강연집

1999 .01

Silicon-Micromachined Vortex Triode

조장호 ,  김종팔 ,  최병규 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Miniaturized Silicon Micromachined Bandpass Filter )

육종관

한국전자파학회논문지

1999 .09

Surface Micromachined Pressure Sensor with Internal Substrate Vacuum Cavity

Chang Han Je and 3 othe ,  s

[ETRI] ETRI Journal

2016 .08

가공송전선로 애자 적용실태와 향후 전망

김우겸 ,  민병욱 ,  김태영 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .07