결정립 식각 기술을 이용한 다결정 실리콘 부착 방지 구조 ( Polysilicon Anti-sticking Structure by Grain Etching Technique )

이용주 ,  박명규 ,  전국진

전자공학회논문지-D

1998 .02

마이크로-광스위치 제작을 위한 다결정실리콘 식각 공정의 최적화

조수범 ,  이경철 ,  이민우 외 6명

한국통신학회 기타 간행물

2002 .10

고온 열처리에 따른 다결정 실리콘 박막의 특성

최승진 ,  황완식 ,  이인규

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

결정립크기 및 도우핑조건이 C12-SF6 가스 플라즈마에서의 다결정 실리콘의 식각특성에 미치는 영향 ( Effect of Grain Size and Doping Conditions on the Etch Characteristics of Polysilicon Films in a SF6-C12 Gaseous Plasma )

박성호 ,  김상호 ,  유형준

대한전자공학회 학술대회

1988 .01

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

건식 식각에 의한 다결정 실리콘 초미세 패턴 형성에 관한 연구 ( A Study on the Dry Etching Characteristics of Ultra Fine Poly-Silicon Pattern )

도현호 ,  이석현 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

건식 식각에 의한 다결정 실리콘 초미세 패턴 형성에 관한 연구

都眩昊 ,  李晳賢 ,  黃琪雄

전기학회논문지

1993 .12

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

The Effects of Image Charge in the Etching of Gate Polysilicon

신화숙 ,  지경구 ,  정찬욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Generation of a Pulse Plasma and its Application to Polysilicon Etching

정찬욱 ,  K. K. Chi ,  Y. B. Koh 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석

李熙德 ,  金載官 ,  鄭訓周 외 1명

전기학회논문지

1996 .10

저온 열처리를 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

정주용 ,  하승호 ,  이진민 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

플라즈마 변수에 의한 불순물주입 다결정실리콘 박막의 식각율 변화 ( Etch Rate Dependence of Differently Doped Poly-Si Films on the Plasma Parameters )

박성호 ,  김윤태 ,  김진섭 외 2명

전자공학회논문지

1988 .11

An Accelerometer with Polysilicon Piezoresistors Bulk-Micromachined Using a p+ Silicon Etch-Stop Layer

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1996 .10

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

급속 열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성 연구 ( Effects of the Rapid Thermal Annealing on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )

김윤태 ,  유형준 ,  전치훈 외 2명

전자공학회논문지

1988 .09

다결정 실리콘 MOSFET 제작과 전류-전압 특성 ( The Fabrication of Polysilicon MOSFET and The I-V characteristics )

안상훈 ,  김성영 ,  박종태 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

급속열처리 방식을 이용한 다결정 실리콘 소자의 향상된 전기적 특성 ( Improved Electrical Properties of Polysilicon TFT Using Rapid Thermal Processing )

홍찬희 ,  박창엽 ,  이희국

전자공학회논문지

1990 .12

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

HF 증기상 식각과 열처리를 이용한 다결정 규소 미세 구조체의 제작

박경호 ,  이춘수 ,  정영이 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11