The Effects of Image Charge in the Etching of Gate Polysilicon

신화숙 ,  지경구 ,  정찬욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술

양경채 ,  박성우 ,  신태호 외 1명

한국표면공학회지

2015 .12

Polysilicon TFT의 파라미터 추출 ( Parameter Extraction for the Polysilicon Thin Film Transistors )

한승엽 ,  조영호 ,  최연익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

Effect of Dissolved Oxygen and Oxygen Scavenger on the Etch Rate of Polysilicon

Kyong-Ho Lee ,  T ,  an Viet Cuong 외 1명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2020 .02

Plasma etching behavior of RE-Si-Al-O glass (RE: Y, La, Gd)

이정기 ,  황성진 ,  이성민 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

Investigation of Plasma Etching Properties of Polymeric Materials Used for Packaging Application

Chang-ho Ra ,  Li Huamin ,  Yoo won jong 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Surface Analysis of Fluorine-Plasma Etched Y-Si-Al-O-N Oxynitride Glasses

Lee ,  Jung-Ki ,  Hwang 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

The Effects of Texture on the Young`s Modulus of Polysilicon

이상우 ,  조동일

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Polysilicon Thin Film Transistors : 소자 기술 및 특성 ( Polysilicon Thin Film Transistors : Device Technology and Characteristics )

한철희

대한전자공학회 학술대회

1992 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

플라즈마 에칭 후 게이트 산화막의 파괴

최영식

한국정보통신학회논문지

2002 .02

펄스 플라즈마를 이용한 식각

양경채 ,  김수강 ,  신예지 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

Plasma and Reactive Ion Etching

전영진

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

다결정실리콘의 경사식각에 관한 연구 - 제1부 : 실험적 고찰 ( A Study on Taper Etching of Polysilicon - Part 1 : The Experimental Study )

이정규 ,  서동량 ,  변재동

전자공학회논문지

1989 .07

Etching Effect of Solution Plasma on Gold Nanoparticles

Junko Hieda ,  Takahi ,  o Ishizaki 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

P형 in-situ 도핑 폴리실리콘 막질에 관한 연구

오정섭 ,  이상은 ,  노진태 외 3명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

Dry Release Process of HF Gas-Phase Etching for the Fabrication of Surface Micromachined Polysilicon Actuators

Jong Hyun Lee ,  Won Ick Jang ,  Yong Il Lee 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

The study of silicon etching using the high density hollow cathode plasma system

Yoo ,  Jin-Soo ,  Lee 외 7명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

Understanding of my etching of polycarbonate based on $O_2$ plasmas

주영우 ,  박연현 ,  노호섭 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01