콜로이달 리소그래피를 통한 유리식각 - HF 증기에 의한 나노식각

나종주 ,  임현의 ,  김완두

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .04

Dry Release Process of HF Gas-Phase Etching for the Fabrication of Surface Micromachined Polysilicon Actuators

Jong Hyun Lee ,  Won Ick Jang ,  Yong Il Lee 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Fabrication of Electrostatic Polysilicon Micro Actuator using HF Vapour Phase Etching Process

이종현 ,  이재열 ,  최부연 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Hf 조성변화에 따른 Fe-Hf-N 자성박막의 특성

맹기호 ,  이진혁 ,  강계명 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

다결정실리콘의 경사식각에 관한 연구 - 제1부 : 실험적 고찰 ( A Study on Taper Etching of Polysilicon - Part 1 : The Experimental Study )

이정규 ,  서동량 ,  변재동

전자공학회논문지

1989 .07

초임계 이산화탄소를 이용한 웨이퍼의 건식 식각에서 알콜 첨가제의 효과

김도훈 ,  장명재 ,  임권택

청정기술

2012 .09

Fe-Hf-N 연자성 박막의 미세구조에 관한 연구

여정구 ,  원종선 ,  김만호 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

고온 열처리에 따른 다결정 실리콘 박막의 특성

최승진 ,  황완식 ,  이인규

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

결정립 식각 기술을 이용한 다결정 실리콘 부착 방지 구조 ( Polysilicon Anti-sticking Structure by Grain Etching Technique )

이용주 ,  박명규 ,  전국진

전자공학회논문지-D

1998 .02

결정입계의 선택적 식각을 이용한 다결정 규소 태양전지의 제작과 특성

김상수 ,  김철수 ,  임동건 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

반도체 공정중 연속적 산화-HF 식각-염기성 세정과정이 실리콘 기판 표면에 미치는 영향

박진구

한국재료학회지

1995 .01

$\textrm{SiO}_2$기판 위에 증착된 Co/Hf 이중층의 계면반응

권영재 ,  이종무 ,  배대록 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

습식식각을 이용한 HfO₂ 박막의 식각특성

양정열 ,  황택성 ,  곽노석 외 2명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

절연가스 내에 생성되는 H₂O 및 HF의 제거

한희준 ,  최선용 ,  김희준 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2010 .04

해상 HF 디지털 무선통신 방식 비교 연구

김정창

한국방송미디어공학회 학술발표대회 논문집

2016 .06

급속 열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성 연구 ( Effects of the Rapid Thermal Annealing on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )

김윤태 ,  유형준 ,  전치훈 외 2명

전자공학회논문지

1988 .09

The Study on the Cu Impurity Removal Depending on the Cleaning Splits of ( UV/O3 + HF ) and ( H2O2 + HF )

최백일 ,  이원준 ,  안태항 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

PLL을 이용한 HF 대 합성기의 주파수 조정에 관한 연구

송원용 ,  김경기

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .11

IN792+Hf 초내열합금의 응고거동에 미치는 응고속도의 영향

배재식 ,  김현철 ,  이재현 외 2명

한국재료학회지

2001 .01