전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

다결정 Si/SiO₂ ∥ Si 적층구조에서 SiO₂층의 두께에 따른 유전특성의 변화

송오성 ,  이영민 ,  이진우

한국표면공학회지

2000 .08

Poly·Si-SiO2를 통한 저농도 붕소확산 ( Boron Diffusion of Low Concentration through Poly·Si-SiO2 )

김정회 ,  주병권 ,  김철주

전자공학회논문지

1987 .03

Si-SiO₂系의 問題点과 研究動向

成英權

전기의세계

1985 .06

D. C. 전압 인가에 의한 Pd-SnO_x-Si₃N₄-SiO₂-Si-Al 캐패시터의 산소흡착/탈착 반응

이재홍 ,  이주헌 ,  김창교

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구

신영철 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

AL / ZnO / Si3N4 / SiO2 / Si 구조의 전기적 특성 및 가스 감지 효과 ( Electrical Property and Gas Sensing Effect of Al / ZnO / Si3N4 / SiO2 / Si Structure )

최시돈 ,  이종현 ,  이덕동 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1983 .01

Si$_3$N$_4$를 이용한 Co silicided Si FEA의 제작

정진철 ,  김민영 ,  장지근

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

$Al_2O_3$/si 기판위에 형성한 (Bi,La)$Ti_3O_{12}$ 박막의 특성

황선환 ,  장호정 ,  장영철

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Poly-Si/$SiO_2$/Si 기판위에 증착된 코발트실리사이드의 전기적 특성

노영규 ,  장호정

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상연

한국재료학회지

2001 .01

Si3N4 / SiO2 / Si3N4 다이아프레임을 이용한 광섬유 압력센서 ( Fiber Optic Pressure Sensor Using the Si3N4 / SiO2 / Si3N4 Daiphragm )

김명규 ,  유양욱 ,  박동수 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Si３N４ / SiO２ / Si３N４ 다이아프레임을 이용한 광섬유 압력센서 ( Fiber Optic Pressure Sensor Using the Si３N４ / SiO２ / Si３N４ Daiphragm )

김명규 ,  유양욱 ,  박동수 외 3명

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1996 .01

Capacitance-Voltage Characteristics in the Double Layers of SiO₂/Si₃N₄

洪能杓 ,  洪眞雄

전기학회논문지 C

2003 .10

Poly-Si의 성장 기구와 제특성

김상욱 ,  박종욱 ,  천영일 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .07

TOP ELECTRODE ANNEALING EFFECTS IN SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$/CeO$_2$/Si STRUCTURE

Shin ,  Dong-Suk ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01