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논문 기본 정보
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- 저자정보
- 발행연도
- 2001.5
- 수록면
- 629 - 634 (6page)
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This paper presents a gyroscope array with capacitive detection fabricated by MEMS technology. Proposed gyroscope array has comparative advantage in sensitivity, electromechanical noise, and shock survival. Also the number of the gyroscope array can be expandable to the number of n²cells. We test the resonance frequency characteristics of 1, 4, and 9 cells gyroscope array. A quad-cell gyroscope array performance was tested on the rate table within a vacuum chamber. The quad-cell gyroscope shows that the electrical noise equivalent rate is lower than O.O1deg/sec, the sensitivity is 93mV/deg/sec, dynamic range is 100deg/sec, the bandwidth is 16Hz, and its measured cross-axis sensitivity is smaller than 0.2%.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 자이로스코프 어레이
3. 테스트 및 측정결과 분석
4. 결론
참고문헌
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