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MEMS 기술에 의한 광스위치의 제조 ( Fabrication of Optical Switches Using MEMS Technology )
한국통신학회 기타 간행물
1998 .01
단순빔형 MEMS 스위치를 위한 새로운 고효율 제조 공정 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
MEMS 기술의 광학적 응용
한국통신학회 기타 간행물
2001 .10
마이크로머시닝 기술과 MEMS 광스위치 응용
소성·가공
2002 .04
지능재료를 이용한 3-D MEMS의 제작
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2001 .12
MEMS 기술
기계저널
2007 .05
Design and fabrication of structurally stable piezoelectric RF MEMS switch
대한전기학회 학술대회 논문집
2011 .11
RF MEMS 스위치의 유전알고리즘을 이용한 최적 설계 및 제작에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .06
MEMS기술을 이용한 가속도계의 실리콘 펜들럼 설계 및 제작공정에 관한 연구
제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집
1998 .12
MEMS를 이용한 Optical Switch
광학세계
2005 .01
The Estimation of MEMS Properties
한국CDE학회 학술발표회 논문집
2008 .01
수평 구동형 MEMS 관성 스위치 설계 및 성능해석
한국항공우주학회지
2020 .07
[특집 : MEMS 기술] MEMS 기술의 개요
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2005 .07
Silicon On Nothing 공정을 이용한 MEMS 절대압 압력센서 Modeling
대한전자공학회 학술대회
2015 .06
압전 MEMS 발전기 설계 및 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
압전 MEMS 발전기 설계 및 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
Fabrication of RF MEMS silicon switch which contains reflowed glass structure beneath a contact metal
대한전기학회 학술대회 논문집
2013 .10
MEMS : From Research to Applications
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
MEMS 제작기술을 이용한 미세 힘센서 설계 및 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .05
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