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저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2002년 춘계학술대회논문집
발행연도
2002.5
수록면
968 - 972 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

로렌츠 힘을 이용한 평면구동형 마이크로 광스위치
고종수 ,  한정삼 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2005.10 학술저널

2002

로렌츠 힘을 이용한 평면구동형 마이크로 액츄에이터
고종수 ,  이대식 ,  이명래 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2002.05 학술대회자료

초록· 키워드

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A laterally driven electromagnetic microactuator (LaDEM) is introduced, and a micro-optical switch is
designed and fabricated as an application. LaDEM offers parallel movement of the microactuator to the
silicon substrate surface (in-plane mode). Poly-silicon-on-insulator (poly-SOI) wafers and a reactive ion
etching (RIE) process were used to fabricate high-aspect-ratio vertical microstructures, which allowed the
equipping of vertical micro-mirrors. A fabricated single leaf spring had a width of 1.2 mm, thickness of 16 mm,
and length of 800 mm. The resistance of the fabricated leaf spring for the optical switch was 5 W. The
deflection of the leaf spring started to profoundly increase at about 400 mA, and it showed snap-through
phenomenon over that current value. Owing to the snap-though phenomenon, a large deflection of 60 mm was
detected at 566 mA.

목차

Abstract

1. 서론

2. 구동원리

3. 제작

4.측정

5. 고찰

6. 결론

후기

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