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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.4
- 수록면
- 1,014 - 1,020 (7page)
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We have developed the ultrasonic polishing system to get super finishing that consist of
machine part that can rotate and travel the main shaft with power 1.5kW, ultrasonic generator with
frequency 20kHz. By using this system we were investigated the characteristics of ultrasonic
polishing and deduced the major facters which affect the surface roughness by the experimental
plans for three different materials such as ceramic, glass, and wafer, and so could be obtained
following results. We could be obtained the excellent surface for hard-to-difficult cutting
materials. The rotating speed could be found to be major factor influencing the surface roughness.
In the case of ceramic and wafer, we were able to obtain good surface roughness when the feed
rate and ultrasonic output is higher. In the case of glass, the surface roughness becames worse
when ultrasonic output is higher because of increasing of load affacting on the particles in slurry.
machine part that can rotate and travel the main shaft with power 1.5kW, ultrasonic generator with
frequency 20kHz. By using this system we were investigated the characteristics of ultrasonic
polishing and deduced the major facters which affect the surface roughness by the experimental
plans for three different materials such as ceramic, glass, and wafer, and so could be obtained
following results. We could be obtained the excellent surface for hard-to-difficult cutting
materials. The rotating speed could be found to be major factor influencing the surface roughness.
In the case of ceramic and wafer, we were able to obtain good surface roughness when the feed
rate and ultrasonic output is higher. In the case of glass, the surface roughness becames worse
when ultrasonic output is higher because of increasing of load affacting on the particles in slurry.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 초음파 폴리싱 가공기의 개발
3. 실험
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
참고문헌 (0)
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