지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2004.10
- 수록면
- 1,541 - 1,548 (8page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
A nano-stage simulation tool is developed for an advanced E-beam lithography system. Even if piezoare-actuators believed to be compatible for the E-beam lithograpy system, it is difficult to predict their characteristics due to their nonlinearities such as hysteresis and creep. In this paper, the nonlinear properties are modeled for a piezo-actuator by considering the voltage range and speed variations. The hysteresis is described as the first order differential equation with 24 sets of parameters and the creep is modeled as a timelogarithmic function with 2 sets of a parameter. A two-axis nano stage with piezo-actuators are investigated for realizing nano scale motions. The characteristics of flexure guide mechanisms are analyzed based on the finite element method using the ANSYS software. The simulation tool for the nano stage is constincted by using the RecurDyn software. The dynamic response of the nano stage is obtained in simulations and compared with the experimental data.
목차
Abstract
1. 서론
2. 압전구동기의 모델링
3. 시뮬레이션 툴 구축
4. 실험 결과
5. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (17)
참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - / 2000 / Advances in Arrayed Microcolumn Lithography 18 (6) : 3099 ~ 3104
[학술지(정기간행물)] - / 2002 / Mechanical System Construction for the EX-11 Electron Beam Mask Writer: A Solution for 100 nm Wafer Lithography 20 (1) : 311 ~ 315
[학술지(정기간행물)] - / 1999 / XY Stage Driven by Ultrasonic Linear Motors for the Electron-Beam X-Ray Mask Writer EB-X3 17 (6) : 2917 ~ 2920
[학술지(정기간행물)] - / 2003 / On the Classical Preisach Model for Hysteresis in Piezoceramic Actuators 13 (2) : 85 ~ 94
[학술지(정기간행물)] - / 1995 / Modeling Hysteresis in Piezoceramic Actuators 17 (3) : 211 ~ 221
[학술지(정기간행물)] - / 2002 / Mechanical System Construction for the EX-11 Electron Beam Mask Writer: A Solution for 100 nm Wafer Lithography 20 (1) : 311 ~ 315
[학술지(정기간행물)] - / 1999 / XY Stage Driven by Ultrasonic Linear Motors for the Electron-Beam X-Ray Mask Writer EB-X3 17 (6) : 2917 ~ 2920
[학술지(정기간행물)] - / 2003 / On the Classical Preisach Model for Hysteresis in Piezoceramic Actuators 13 (2) : 85 ~ 94
[학술지(정기간행물)] - / 1995 / Modeling Hysteresis in Piezoceramic Actuators 17 (3) : 211 ~ 221
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
차세대 리소그라피 시스템을 위한 압전구동기의 동적 해석
대한기계학회 논문집 A권
2003 .03
-
나노스테이지의 응답성 향상을 위한 시뮬레이션 및 비선형 적용제어에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .11
-
접촉식 리소그라피용 정렬 스테이지
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2011 .04
-
유연성을 고려한 4축 나노임프린팅 스테이지의 동적 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .11
-
힌지 형태에 따른 나노 스테이지의 거동특성
한국생산제조학회지
2007 .06
-
나노 임프린트 장비의 외란에 따른 변위 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2009 .05
-
4축 스테이지 속도와 가속도 변화에 따른 입출력 오차 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2009 .05
-
과구동 스테이지의 정적 강성 향상에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
-
Nano-Scale Fabrication and In-Situ Observation of Nano-Structured Materials and Nano-Devices
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
-
Analysis and Improvement of Dynamic Characteristics of 3-axis Nano Stage
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2005 .05
-
나노 정밀도 스테이지의 트래킹 성능 향상
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2009 .10
-
CAE를 이용한 나노 임프린트 스테이지의 동적 거동해석
한국생산제조학회지
2007 .10
-
과구동 4축 스테이지의 정밀도 향상에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .05
-
A Miniaturized Nano-Motion Stage Driven by Piezo Stacks
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2008 .10
-
압전구동기의 비선형특성이 나노 측정 현미경 이미지에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
-
CAE를 이용한 나노 임프린트 스테이지의 동적 거동해석
대한기계학회 춘추학술대회
2007 .10
-
나노 스테이지용 압전 구동기의 퍼지 PI 제어기 설계
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .11
-
나노 스테이지용 압전 구동기의 퍼지 PI 제어기 설계
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .11
-
An Education Model of a Nano-Positioning System for Mechanical Engineers
Journal of Mechanical Science and Technology
2006 .10
-
UV 나노 엠보싱 공정을 이용한 고종횡비 고분자 나노 섬모 어레이 제작
대한기계학회 논문집 A권
2006 .07
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-014427421