Study on Synthesis and Analysis of Organic-Inorganic Hybrid polymer Thin films by PECVD for Low-k materials

S.-J. Cho ,  I.-S. bae ,  J.-H. Boo

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Photoluminescence chracteristics of SiN_x thin film deposited by PECVD at low temperature

Kyungsu Lee ,  Eunkyeom Kim ,  Kyongmin Kim 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Electrical properties of HfO_xN_y thin films deposited by PECVD

J.-H. Pa ,  k ,  J.-S. Hyun 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

A comparative study of plasma polymerized organic thin films on electrical, optical and physical properties for gate dielectric layer

서현진 ,  황기환 ,  주동우 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

High rate deposition and mechanical properties of SiOx film on PET and PC polymers by PECVD with the dual frequencies UHF and HF at low temperature

Su B. Jin ,  Yoon S. Choi ,  In S. Choi 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Synthesis and Characterization of Cyclohexene Polymer Thin Films by PECVD Method.

L-S. Bae ,  C. K. Jung ,  Y. S. Pa 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Synthesis and Characterization of Cyclohexene Polymer Thin Films by PECVD Method

I.-S. Bae ,  C. K. Jung ,  S. J. Cho 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Investigate Electronic Property of N-doped Plasma-Polymer Thin Films for Applied Biosensors

서현진 ,  황기환 ,  남상훈 외 5명

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2013 .08

Synthesis of SiNx:H films in PECVD using RF/UHF hybrid sources

K. S. Shin ,  B. B. Sahu ,  J. S. Lee 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature

Jeon G. HAN ,  Jun S. LEE ,  Bibhuti B. SAHU 외 3명

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2016 .08

TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구

안경한 ,  설용건 ,  김선효

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis

Kanade Vinit ,  Hyeong-U Kim ,  Seokjun Hong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Hybrid-Polymer Thin Films by PECVDMethod and Characterization of Their Electrical and Mechanical Properties

I.-S. Bae ,  S.-J. Cho ,  J.-H. Boo

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

ORGANIC POLYMER THIN FILMS DEPOSITED ON SILICON AND COPPER BY PECVD METHOD AND CHARACTERIZATION OF THEIR ELECTROCHEMICAL AND OPTICAL PROPERTIES

I. S. Bae ,  S. H. Cho ,  Z. T. Pa 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석

정재욱 ,  추성중 ,  박정호

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

The effect of carbon nanotube diameter on the electrical, thermal, and mechanical properties of polymer composites

Kim ,  Kyung Jae ,  Huh 외 18명

Carbon letters

2018 .01

Characterization of In-Situ Film Thickness and Chamber Condition of Low-K PECVD Process with Impedance Analysis

Daekyoung Kim ,  Haegyu Jang ,  Yongtae Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Low-Temperature Synthesis of Wafer Scale WS₂ by PECVD

Kanade Vinit ,  김형우 ,  박근상 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .02

Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber

이철 ,  황혜주 ,  박상호 외 6명

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2017 .08