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Electrical properties of HfOxNy thin films deposited by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Low-Temperature Synthesis of Wafer Scale WS₂ by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .02
A study for the hybrid low-k polymer thin films by PECVD and their electrical and mechanical properties
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
ORGANIC POLYMER THIN FILMS DEPOSITED ON SILICON AND COPPER BY PECVD METHOD AND CHARACTERIZATION OF THEIR ELECTROCHEMICAL AND OPTICAL PROPERTIES
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
Low-temperature PECVD silicon nitride film for the fabrication of capacitance type pressure sensor
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Study on Synthesis and Analysis of Organic-Inorganic Hybrid polymer Thin films by PECVD for Low-k materials
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
원거리 플라즈마 화학증착에 의한 저온 규소 박막의 결정성
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
Low Temperature PECVD for SiOx Thin Film Encapsulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Characterization of In-Situ Film Thickness and Chamber Condition of Low-K PECVD Process with Impedance Analysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Chemical Bonding Structures of Low-k SiOCH films with HMDSO and O₂ precursors deposited by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
Diethylzinc를 사용하여 PECVD로 증착한 ZnO 박막의 미세 구조 분석
한국결정학회지
1993 .01
A Study for Properties of SiOC(-H) Thin Films with Low-κ Formed by UV-Assisted PECVD Method
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Low Temperature PECVD process for SiNx/Organic Multilayer Thin Film Encapsulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
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