비정질 Si박막의 고상결정화 연구

김보경 ,  임정윤 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films

김윤해 ,  이석규 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Co₁-x - Tax / Si 시스템에서의 실리사이드 형성 반응 연구

김민주 ,  이덕형 ,  고대홍

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO₂/Si

F ,  anco ,  Vinicius C. De 외 10명

Carbon letters

2017 .01

Various Iron - silicide Formation in Fe / Si Multilayered Films

박주상 ,  이영백 ,  Y. V. Kud 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

ULSI 확산억제막으로 적합한 Ti - Si - N의 조성 범위에 관한 연구

박상기 ,  강봉주 ,  양희정 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .10

Fe(50Å) / [Co(17Å) / Fe(tÅ) / Cu(24Å)]20 다층박막의 자기저항 특성 연구

최규리 ,  김미양 ,  최수정 외 7명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1995 .11

p - Si0.83Ge0.17 / Si(001)기판위에 Si capping layer를 이용하여 형성시킨 nickel silicide의 전기적 및 구조적 특성

장치환 ,  신동욱 ,  이내응 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

다층박막확산쌍에서의 고산반응에 의한 비정질상 및 결정상 생성에 관한 이론적 고찰

곽준섭 ,  지응준 ,  백흥구

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

60 ㎚ 와 20 ㎚ 두께의 수소화된 비정질 실리콘에 따른 저온 니켈실리사이드의 물성 변화

김종률 ,  박종성 ,  최용윤 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2008 .11

비정질 실리카겔의 Si-OH와 Si-O-Si 산소 원자 환경 규명 : ¹⁷O 고상 핵자기공명 분광분석 연구

김현나 ,  이성근

한국암석학회 학술발표회 논문집

2012 .05

Epitaxial Iron - Silicides on Si(100)

Jin-Ho Oh ,  Sang-Kyun Lee ,  Chong-Yun Pa 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

승온시 Si₂H6 가스 주입을 이용한 표면 SiO₂의 억제 및 비정질 Si의 고상 에피텍시에 관한 연구

최태희 ,  남승의 ,  김형준

Applied Science and Convergence Technology

1996 .09

Iron silicide formation in Fe / Si multilayered films by ion beam mixing

J. S. Pa ,  k ,  Y. P. Lee 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

PECVD로 증착된 a - Si 박막의 고상결정화에 있어서 기판 온도 및 수소희석의 효과

이정근

Applied Science and Convergence Technology

1998 .02

Si(001)2×1 표면에 성장된 극초박막에 관한 연구

Hyun-Jeong Kim ,  Robe ,  t L. Johnson

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

SIMS Study on the Diffusion of Al in Si and Si QD Layer by Heat Treatment

Jong Shik Jang ,  Hee Jae Kang ,  An Soon Kim 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

a - Si₁-xGex : H 박막의 고상결정화에 따른 스핀밀도의 변화

노옥환 ,  윤인호 ,  이정근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Indium이 도핑된 CeO₂ / Si박막과 Si / CeO₂ / Si박막의 발광 현상

문병식 ,  양지훈 ,  김관표 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02