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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
심재엽 (연세대학교 금속공학과) 박상욱 (연세대학교 금속공학과) 지응준 (연세대학교 금속공학과) 곽준섭 (연세대학교 금속공학과) 최정동 (연세대학교 금속공학과) 백홍구 (연세대학교 금속공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제4권 제3호
발행연도
1994.1
수록면
301 - 311 (11page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1994

Co/Si 다층박막에서의 고상반응에 의한 비정질상과 결정상의 생성 및 상전이
심재엽 ,  박상욱 ,  지응준 외 3명 한국재료학회지 1994.01 학술저널

1993

Co / Si 다층박막에서 고상확산에 의한 실리사이드 생성에 관한 연구
심재엽 ,  지응준 ,  곽준섭 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 1993.02 학술대회자료

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Co/Si계에서 고상확산에 의하여 비정질상이 생성되는지의 여부를 유효구동력 개념을 이용하여 예측하였으며 유효생성열 개념 및 PDF모델로부터 결정상의 생성과 상전이를 예측하였다. 한편, DSC와 XRD를 이용하여 Co/Si다층박막에서의 비정질상의 생성여부와 결정상의 생성 및 상전이를 확인하여 모델로부터 예측한 결과와 비교하였다. Co/si계에서는 비정질상이 성장하지 않았으며 이는 유효구동력 개념으로부터 예측된 결과와 일치하였다. Co/Si계에서 생성되는 최초의 결정상은 CoSi였으며 유효생성열과 PDF모델로부터 예측된 최초의 결정상은 각각 $CO_2Si$와 CoSi였다. 따라서 Co/Si계에서 생성되는 최초의 결정상은 구조적인 요소를 고려해 PDF모델의 예측결과와 잘 일치하였다. 증착당시 Co와 Si의 조성비가 2대 1일경우와 1대 2일 경우의 상전이는 각각 $CoSi \to Co_2Si$와 $CoSi \to Co_2Si \to CoSi \to CoSi_2$의 초기단계의 생성기구는 각각 핵생성이 율속이었으며, 이들의 생성에 필요한 활성화에너지는 각각 1.71, 2.34, 2.79eV이었다.

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