ULSI용 Cu 박막의 미세조직 연구

박윤창 ,  송세안 ,  윤중림 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

동시증착에 의한 Si(111) - 7×7 기판 위에 TiSi₂ 에피택셜 성장

최치규 ,  류재연 ,  오상식 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1994 .12

RTN에 의해 형성된 TiN / TiSi₂ Bilayer의 특성

이석형 ,  김헌도 ,  박종완

Applied Science and Convergence Technology

1994 .03

미소영역에서의 TiSi₂ 상변태

김영철 ,  배종욱 ,  박주철 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Formation of TiSi₂ on the n-type <100> Si by Rapid Thermal Annealing

엄우용 ,  장호정 ,  장지근 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Sputtering Technology of Aluminum alloys for ULSI Applications

김용길

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

DC / RF Magnetron Sputtering Deposition법에 의한 TiSi₂ 박막의 특성 연구

이세준 ,  김두수 ,  성규석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

TiN / TiSi₂ - bilayer 형성기구에 관한 연구

최치규 ,  오상식 ,  염병렬 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Ultrathin Gate Oxide for ULSI MOS Device Applications

황현상

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

TiSi gate 및 텅스텐 B / L spacer용 SiN 박막 증착 공정 개발

이석민 ,  김명진 ,  김석식

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

In - situ solid phase epitaxial growth of C49 and C54 - TiSi₂ on the Si(111) - 7×7 substrate

Chi Kyu Choi

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

A study on the Thermally Stable Tungsten bit - line Process technology for ULSI device

나사균 ,  이원준

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Growth of Ti on Si(111) - 7×7 Surface and the Formation of Epitaxial C54 TiSi₂ on Si(111) Substrate

김건호 ,  김인호 ,  이정주 외 9명

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

Ion beam mixing과 급속열처리 방법을 이용한 Ti - SALICIDE용 TiSi 박막 개선에 관한 연구

최병선 ,  구경완 ,  천희곤 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

단일층으로 형성된 TiSi2 나노입자를 이용한 나노부유게이트 메모리 소자의 전기적 특성 연구

한승종 ,  이동욱 ,  서기봉 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Ion Beam Mixing과 급속열처리 방법을 이용한 Ti - SALICIDE용 TiSi₂ 박막 개선에 관한 연구

최병선 ,  구경완 ,  천희곤 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

Self - aligned TiNxOy / TiSi₂ Contact Formation

천희곤 ,  최병선 ,  구경완 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Electrical characterization of TiSi² nanocrystals grown on multi-stacked tunnel layer for non-volatile memory

Seung Jong Han ,  Dong Uk Lee ,  Ki Bong Seo 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

TiSi₂ 나노입자를 이용한 나노 부유게이트 커패시터 제작 및 전기적 특성연구

한승종 ,  이동욱 ,  이태희 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Cu films by partially ionized beam deposition for furture ULSI metallization

Ki-Hwan Kim ,  Doo-Jin Choi ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06