ULSI용 Cu 박막의 미세조직 연구

박윤창; 송세안; 윤중림; 김영욱

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박윤창 송세안 윤중림 김영욱

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제18회 학술발표회논문개요집

발행연도: 2000.2

수록면: 121 - 121 (1page)

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ULSI용 Electroplating Cu 박막의 미세조직 연구

박윤창 , 송세안 , 윤중림 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 2000.09 학술저널

ULSI용 Cu 박막의 미세조직 연구

박윤창 , 송세안 , 윤중림 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.02 학술대회자료

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박윤창

소속기관 한국과학기술원 나노종합기술원

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 자연과학 > 물리학

논문수 8 이용수 149

송세안

소속기관 삼성전자종합기술연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 8 이용수 112

윤중림

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 1 이용수 8

김영욱

소속기관 한국교통대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 공학 일반

논문수 10 이용수 844

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