TiSi gate 및 텅스텐 B / L spacer용 SiN 박막 증착 공정 개발

이석민; 김명진; 김석식

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이석민 김명진 김석식

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제12회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1997.2

수록면: 71 - 71 (1page)

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