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동시증착에 의한 Si(111) - 7×7 기판 위에 TiSi₂ 에피택셜 성장
Applied Science and Convergence Technology
1994 .12
TiSi₂박막의 ULSI소자에의 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
DC / RF Magnetron Sputtering Deposition법에 의한 TiSi₂ 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
스파터링(Sputtering)법으로 증착된 텅스텐(W) 게이트(Gate) 금속의 열처리 전후 영향에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
RTN에 의해 형성된 TiN / TiSi₂ Bilayer의 특성
Applied Science and Convergence Technology
1994 .03
TiN 위에 텅스텐의 저압화학증착
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
마이크로파 플라즈마 화학기상증착법(PECVD)과 저압 화학기상증착법(LPCVD)을 이용한 실리콘 기판 위에서의 텅스텐 박막증착
Applied Science and Convergence Technology
1992 .06
Si₃N₄상에 PECVD법으로 형성한 텅스텐 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
증착공정에서 산소유량 제어에 따른 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Ion Beam Mixing과 급속열처리 방법을 이용한 Ti - SALICIDE용 TiSi₂ 박막 개선에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1992 .02
Pulse - CVD를 이용한 gate용 Ta₂O5 박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
미소영역에서의 TiSi₂ 상변태
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
Formation of TiSi₂ on the n-type <100> Si by Rapid Thermal Annealing
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
TiN / TiSi₂ - bilayer 형성기구에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
LPCVD 조건하에서 SiH₄에 의한 WF6환원반응으로부터의 텅스텐 박막 증착 메커니즘에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
Ion beam mixing과 급속열처리 방법을 이용한 Ti - SALICIDE용 TiSi 박막 개선에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
Growth of Ti on Si(111) - 7×7 Surface and the Formation of Epitaxial C54 TiSi₂ on Si(111) Substrate
Applied Science and Convergence Technology
1992 .02
In₂O₃ 박막위에 증착된 초박막 Co 촉매가 NO의 감도에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
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