Epitaxial Growth of Y₂O₃ films by Ion Beam Assisted Deposition.

C. N. Whang

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Ion Beam Assisted Deposition System의 제작 및 자동화

손영호 ,  강창덕 ,  신희성 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Ion Beam Energy effect of the Carbon Nitride Thin Film formation by Direct Dual Ion Beam Deposition

김용환 ,  최동준 ,  한동원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Growth and Chracterization of Ta₂05 Thin Films on Si by Ion Beam Sputter Deposition

K. S. Pa ,  k ,  D. Y. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

in - situ XPS Characterization of cubic Boron Nitride Thin Films Grown by Dual Ion Beam Sputter Deposition

박기선 ,  이덕열 ,  김경중 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Effect of Ion beam Potential on Structural and Electrical Properties of In₂O₃ film in Reactive Ion - Assisted Deposition (R - IAD)

Jun-Sik Cho ,  Ki Hyun Yoon ,  Won-Kook Choi 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Ion Beam Assisted Deposition법에 의한 TiN박막 제작 및 특성연구

원정연 ,  김종호 ,  강희재 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Ion Beam Assisted Deposition법에 의한 TiN박막 제작 및 특성연구

원정연 ,  김종호 ,  강희재 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Direct Metal Ion Beam Deposition and its Applications

Seong In Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Investigation of Some Hard Coatings Synthesized by Ion Beam Assisted Deposition

Jianli He ,  Wen-Zhi Li ,  Xiaoming He 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Deposition of Cu films on Si substrate by Partially Ionized Beam deposition and Ion beam sputtering

Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Microstructure and Properties of Er - SiOX Films Synthesized by Ion Beam Assisted Deposition

Gao Song Duan ,  Shu Qing Zheng ,  Xiao Juan Zhang 외 2명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2002 .06

CHARACTERIZATION OF TIN OXIDE FILMS PREPARED BY ION BEAM ASSISTED DEPOSITION (IBAD)

W.K. Choi ,  J.S. Cho ,  S.K. Song 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

The Growth of Tin Oxide Thin Films by Reactive Ion - Assisted Beam and Applications for Gas Sensors

Won-Kook Choi ,  Jun-Sik Cho ,  Hyung-Jin Jung 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Ion Beam Induced Processes in Sputtering of Ta₂O5 / Si Interfaces.

문대원 ,  김경중 ,  김상열

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

Formation of silicon nanocrystallites by ion beam assisted electron beam deposition

Won Chel Choi ,  Eun Kyu Kim ,  Suk-Ki Min 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Interactions of oxygen with Pd films on Ta : In-situ XPS study

Hyun Ook Seo ,  Kwang-Dae Kim ,  Wei Sheng Tai 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Effects of Deposition Dynamics on Thin Film Growth

서지근 ,  김혜영 ,  권수미 외 1명

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2007 .02

Surface Structure of TiN Films by Ion Beam Processing

Kyung-youl Min ,  Kazuhi ,  o Yoshiha 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02