Ion Beam Assisted Deposition법에 의한 TiN박막 제작 및 특성연구

원정연 ,  김종호 ,  강희재 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Ion Beam Assisted Deposition법에 의한 TiN박막 제작 및 특성연구

원정연 ,  김종호 ,  강희재 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Epitaxial Growth of Y₂O₃ films by Ion Beam Assisted Deposition.

C. N. Whang

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Direct Metal Ion Beam Deposition and its Applications

Seong In Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Investigation of Some Hard Coatings Synthesized by Ion Beam Assisted Deposition

Jianli He ,  Wen-Zhi Li ,  Xiaoming He 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Growth of Ta₂O5 Thin Film by Dual Ion Beam Assisted Deposition and in - situ Surface Analysis

조용범 ,  김경중 ,  구경완 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Effect of Ion beam Potential on Structural and Electrical Properties of In₂O₃ film in Reactive Ion - Assisted Deposition (R - IAD)

Jun-Sik Cho ,  Ki Hyun Yoon ,  Won-Kook Choi 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Ion Beam Energy effect of the Carbon Nitride Thin Film formation by Direct Dual Ion Beam Deposition

김용환 ,  최동준 ,  한동원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Formation of silicon nanocrystallites by ion beam assisted electron beam deposition

Won Chel Choi ,  Eun Kyu Kim ,  Suk-Ki Min 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

ITO deposition by Ion beam sputtering

한영건 ,  조준식 ,  최성창 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Deposition of Cu films on Si substrate by Partially Ionized Beam deposition and Ion beam sputtering

Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Atomic layer deposition of high-k dielectrics on graphene through controlled Ar⁺ Ion beam process

You Jin JI ,  Ki Seok KIM ,  Ki Hyun KIM 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Linear Ion Beam Applications for Roll-to-Roll Metal Thin Film Coatings on PET Substrates

Seunghun Lee ,  Do-Geun Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .09

CHARACTERIZATION OF TIN OXIDE FILMS PREPARED BY ION BEAM ASSISTED DEPOSITION (IBAD)

W.K. Choi ,  J.S. Cho ,  S.K. Song 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Focused ion beam technology and applications.

Seung-Oun Kang ,  Guna-Sup Cho ,  Tae-Hwan Kim 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

Effect of the Neutral Beam Energy on Low Temperature Silicon Oxide Thin Film Grown by Neutral Beam Assisted Chemical Vapor Deposition

HyunWook So ,  DongHyeok Lee ,  JinNyoung Jang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Hybrid Ion Beam Deposition에 의해 제조된 SnO₂-x 박막의 특성 연구

송석균 ,  최원국 ,  정형진 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Ion Cluster Beam Deposition으로 제작된 Polyimide의 전기전도 메카니즘에 관한 연구

이연승 ,  김기원 ,  최성창 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

Microstructure and Properties of Er - SiOX Films Synthesized by Ion Beam Assisted Deposition

Gao Song Duan ,  Shu Qing Zheng ,  Xiao Juan Zhang 외 2명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2002 .06