Cu film growth on Si substrate by combining plasma enhanced chemical vapor deposition with partially ionized beam deposition

K. H. Kim ,  S. C. Choi ,  D. J. Choi 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Deposition of Cu thin films on glass substrate by Ionized Cluster Beam deposition for laser mirror at room temperature

Y. S. Yoon ,  K. H. Kim ,  H. J. Jung 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Construction and Investigation of Metal Ion Source for Partially Ionized Beam deposition

H. G. Jang ,  W. K. Choi ,  S. G. Kond 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Structural property of Cu thin films grown by Ionized cluster beam deposition

Y. S. Yoon ,  K. H. Kim ,  H. J. Jung 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

ITO deposition by Ion beam sputtering

한영건 ,  조준식 ,  최성창 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Controls of Crystallinity and Surface Roughness of Cu film in Partially Ionized Beam Deposition

Ki-hwan Kim. Seok-Keun Koh ,  Won-Kook Choi ,  Young-Soo Yoon 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Substrate temperature dependence of crystalline Y₂O₃ films grown by Ionized Cluster Beam Deposition

M.H.Cho ,  S.W.Whangbo ,  J.G.Seo 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Linear Ion Beam Applications for Roll-to-Roll Metal Thin Film Coatings on PET Substrates

Seunghun Lee ,  Do-Geun Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .09

Properties of Copper Film on Si(100) and Si(111) Substrate by Ionized Cluster Beam Deposition (ICBD)

Sung Han ,  Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Oxidation Mechanism of Si in the Growth of SiOx Thin Film by Ion Beam Sputter Deposition

Kyung Joong Kim ,  Dae Won Moon ,  Moon-Seung Yang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Direct Metal Ion Beam Deposition and its Applications

Seong In Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Growth and Chracterization of Ta₂05 Thin Films on Si by Ion Beam Sputter Deposition

K. S. Pa ,  k ,  D. Y. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Growth of epitaxial Al203 films on silicon by ionized beam deposition

Y. K. Choi ,  S. W. Whangbo ,  K. B. Chung 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Cu films by partially ionized beam deposition for furture ULSI metallization

Ki-Hwan Kim ,  Doo-Jin Choi ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Ion Beam Energy effect of the Carbon Nitride Thin Film formation by Direct Dual Ion Beam Deposition

김용환 ,  최동준 ,  한동원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Ion Beam Assisted Deposition System의 제작 및 자동화

손영호 ,  강창덕 ,  신희성 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Ionized Cluster Beam Deposition 방법을 이용한 Polyimide 박막의 제작 및 특성

김기원 ,  최성창 ,  노효상 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

Epitaxial Growth of Y₂O₃ films by Ion Beam Assisted Deposition.

C. N. Whang

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Electrical property of Copper Film by PIBD(Partially Ionized Beam Deposition)

Sung Han ,  Ki Hyun Yoon ,  Ki-Hwan Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Acceleration energy dependence of epitaxial Y₂O₃ film grown by ionized cluster beam deposition

M. H. Cho ,  Y. G. Choi ,  S. W. Whangbo 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02