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유도 결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화 증착 시스템의 공정 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
TSV용 스퍼터 테스트 카트 디자인
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
스퍼터 증착을 이용한 선택적 투과막 형성
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
개선된 진공 배기 성능과 저손상 전처리 장치가 장착된 롤투롤 스퍼터 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
스퍼터 증착으로 형성된 선택적 투과막의 광학적 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
DC 마그네트론 스퍼터법에 의해 증착한 금속박막의 실시간 면저항 변화 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
알루미늄 진공 증착기술의 현황과 전개
포장정보
1994 .01
DC 마그네트론 스퍼터를 사용하여 투명 디스플레이 전면전극용 ITO박막의 증착 및 조건 변화에 따른 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
롤투롤 스퍼터를 이용하여 성장시킨 정전용량 방식의 터치 패널용 ITO 투명 전극 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
RF 마그네트론 스퍼터 증착법에 의해 성장된 ZnO:Cr 박막의 Multiferroic 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
스퍼터법으로 증착된 ITO / Glass 박막의 전기 및 광학적 특성과 플라즈마 처리에 따른 박막의 표면거칠기 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
증착공정에서 산소유량 제어에 따른 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
파일럿 롤투롤 스퍼터로 증착한 plasma polymer/inorganic 다층박막의 반사방지 및 발수 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
대향타겟식 스퍼터법으로 증착한 GAZO 박막의 투입전력에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
빗각 증착으로 제조된 알루미늄 박막의 조직변화와 부식 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
증착공정에서 발생하는 플라즈마의 실시간 측정과 증착박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
스퍼터된 산화아연 박막의 결정 성장 방향에 따른 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
고온에서 Sputtering한 TiN 박막의 증착조건에 따른 특성변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
다공성 알루미늄 산화 막 상에 증착된 Ni 박막의 성장 및 자기적 특성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2010 .06
스퍼터 및 CVD 공정을 통한 대면적 텍스쳐 기판에서의 균일한 페로브스카이트 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
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