메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
권나현 (부산대학교) 김회봉 (부산대학교) 박기정 (부산대학교) 황빈 (부산대학교) 조영래 (부산대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.8
수록면
158 - 158 (1page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (4)

2011

DC 스퍼터로 증착한 금속박막의 실시간 전기저항 측정과 유착두께에 관한 연구
권나현 ,  김회봉 ,  황빈 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2011.02 학술대회자료
마그네트론 스파터시 금속 극박막의 실시간 전기저항과 미세구조 변화
권나현 ,  김회봉 ,  황빈 외 2명 한국재료학회지 2011.01 학술저널

2010

DC 마그네트론 스퍼터법에 의해 증착한 금속박막의 실시간 면저항 변화 특성연구
권나현 ,  김회봉 ,  박기정 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료
DC 마그네트론 스퍼터법으로 Al 박막의 형성 시 실시간 전기저항 측정에 대한 연구
권나현 ,  하상훈 ,  박현철 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

금속 박막 코팅의 깊이에 따른 물성 변화
김해진 ,  김대은 한국트라이볼로지학회 학술대회 2013 .04
금속박막의 물리적 성질 ( 1 ) - 증착속도에 따르는 구조변화 - ( Physical Properties of Metal Thin Film ( 1 ) - Changes of Structure with Evaporation Rates - )
백수현 ,  조현춘 전자공학회논문지 1987 .11
대면적 전도성 박막의 면저항 정밀측정
강전홍 ,  유광민 ,  이상화 대한전기학회 학술대회 논문집 2015 .07
DC magnetron 방법과 RF 스퍼터링 방법으로 제작된 Nickel Oxide 박막의 특성 연구
최광남 ,  박준우 ,  백승호 외 3명 대한전자공학회 학술대회 2007 .07
테라헤르츠(THz) 파를 이용한 은 나노와이어의 비접촉식 면저항 측정에 관한 연구
김동현 ,  정완호 ,  김학성 대한기계학회 춘추학술대회 2014 .11

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-554-003918929