Hybrid system을 이용한 고경도 WC / Ti 복합상 박막의 합성

정우성; 남경훈; 이호영; 한전건

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정우성 남경훈 이호영 한전건

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제27회 학술발표회초록집

발행연도: 2004.8

수록면: 211 - 211 (1page)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018020211

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