Co / Si 시스템에서 capping layer에 따른 코발트 실리사이드 박막의 형성에 관한 연구

김해영 ,  김상연 ,  고대홍 외 7명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .12

[논문(재료)]Ti-silicide 박막 형성시 규소 기판에 이온 주입된 붕소 거동에 대한 SIMS 분석

황유상 ,  백수현 ,  조현춘 외 3명

분석과학

1992 .06

p - Si0.83Ge0.17 / Si(001)기판위에 Si capping layer를 이용하여 형성시킨 nickel silicide의 전기적 및 구조적 특성

장치환 ,  신동욱 ,  이내응 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

고속 열 확산에 의한 얕은 접합 형성과 Ti - 실리사이드화된 n+ - p 다이오드 특성 분석

최도영 ,  이성욱 ,  주정규 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Nickel silicide 형성시 열처리 온도에 따른 열적 안정성에 관한 연구

최일상 ,  김경원 ,  김종화 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

60 ㎚ 와 20 ㎚ 두께의 수소화된 비정질 실리콘에 따른 저온 니켈실리사이드의 물성 변화

김종률 ,  박종성 ,  최용윤 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2008 .11

AEM을 이용한 (Ni, Ta) - Silicide 박막의 열적안정성에 관한 연구

이재욱 ,  강한별 ,  양철웅

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

Si의 seed layer와 capping layer에 의한 교환결합력의 특성

김선욱 ,  김종기 ,  김보경 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2003 .06

CMOS 소자 응용을 위한 Plasma doping과 Silicide 형성

최장훈 ,  도승우 ,  서영호 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Nickel Silicide Nanowire Growth and Applications

Joondong Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiO_x 박막연구

정유정 ,  윤정흠 ,  이성훈 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

전자빔 조사에 따른 In2O3/Ti 박막의 특성 변화

전재현 ,  공태경 ,  김선광 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

SiO₂와 Co / Ti 이중층 구조의 상호반응

권영재 ,  이종무 ,  배대록 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1998 .08

Co-Deposition법을 이용한 Yb Silicide/Si Contact 및 특성 향상에 관한 연구

강준구 ,  나세권 ,  최주윤 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Epitaxial Iron - Silicides on Si(100)

Jin-Ho Oh ,  Sang-Kyun Lee ,  Chong-Yun Pa 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Ion Beam Mixing과 급속열처리 방법을 이용한 Ti - SALICIDE용 TiSi₂ 박막 개선에 관한 연구

최병선 ,  구경완 ,  천희곤 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

[재료]Initial Reactions of Ti on the Atomically Clean Si Substrates

전형탁 ,  R. J. Nemanich

분석과학

1992 .09

Co / Ti 다층 박막 구조 시스템에서의 계면 반응

이상훈 ,  박세준 ,  고대흥

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Room-temperature Magnetic Entropy Change in La_0.7Sr_0.3Mn_l-xM_xO₃(M=Al, Ti)

N.V. Dai ,  D.N.H. Nam ,  L.V. Hong 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .05

Effect of Surface Roughness on the Formation of Low Resistance Ni-Silicide from Atomic Layer Deposited Nickel Film

방진배 ,  강희성 ,  하종봉 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08