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Co / Si 시스템에서 capping layer에 따른 코발트 실리사이드 박막의 형성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2000 .12
[논문(재료)]Ti-silicide 박막 형성시 규소 기판에 이온 주입된 붕소 거동에 대한 SIMS 분석
분석과학
1992 .06
p - Si0.83Ge0.17 / Si(001)기판위에 Si capping layer를 이용하여 형성시킨 nickel silicide의 전기적 및 구조적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
고속 열 확산에 의한 얕은 접합 형성과 Ti - 실리사이드화된 n+ - p 다이오드 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
Nickel silicide 형성시 열처리 온도에 따른 열적 안정성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
60 ㎚ 와 20 ㎚ 두께의 수소화된 비정질 실리콘에 따른 저온 니켈실리사이드의 물성 변화
Applied Science and Convergence Technology
2008 .11
AEM을 이용한 (Ni, Ta) - Silicide 박막의 열적안정성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
Si의 seed layer와 capping layer에 의한 교환결합력의 특성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2003 .06
CMOS 소자 응용을 위한 Plasma doping과 Silicide 형성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Nickel Silicide Nanowire Growth and Applications
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiOx 박막연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
전자빔 조사에 따른 In2O3/Ti 박막의 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
SiO₂와 Co / Ti 이중층 구조의 상호반응
Applied Science and Convergence Technology
1998 .08
Co-Deposition법을 이용한 Yb Silicide/Si Contact 및 특성 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
Epitaxial Iron - Silicides on Si(100)
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
Ion Beam Mixing과 급속열처리 방법을 이용한 Ti - SALICIDE용 TiSi₂ 박막 개선에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1992 .02
[재료]Initial Reactions of Ti on the Atomically Clean Si Substrates
분석과학
1992 .09
Co / Ti 다층 박막 구조 시스템에서의 계면 반응
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Room-temperature Magnetic Entropy Change in La0.7Sr0.3Mnl-xMxO₃(M=Al, Ti)
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2007 .05
Effect of Surface Roughness on the Formation of Low Resistance Ni-Silicide from Atomic Layer Deposited Nickel Film
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
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