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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제28회 학술발표회초록집
발행연도
2005.2
수록면
102 - 102 (1page)

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2005

양전자를 이용한 반도체 박막의 결함 특성연구
김재홍 ,  이동훈 ,  양태건 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2005.02 학술대회자료

2002

저속 양전자를 이용한 도체 반도체 박막성장의 특성 연구
김재홍 ,  이연숙 ,  A. Weiss 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2002.02 학술대회자료

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디지털 홀로그래피를 이용한 포토리소그래피 공정 제품 패터닝의 폭과 단차 측정
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