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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제2권
발행연도
1995.1
수록면
427 - 428 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

1996

위상변환 마스크 리소그래피에 의한 0.15 ㎛ T-형 게이트 형성방법
박병선 ,  김일광 ,  이진희 외 4명 대한전자공학회 학술대회 1996.11 학술대회자료
위상변환 마스크 리소그래피에 의한 0.15μm T-형 게이트 형성방법 ( The Formantion of 0.15μm T-Shaped GAte By Phase Shift Mask Using A New Optical Lithograpic Technique )
박병선 ,  김일광 ,  이진희 외 4명 대한전자공학회 학술대회 1996.11 학술대회자료

1995

미해상회절 마스크 광리소그래피를 이용한 T-형 패턴 게이트 형성기술
박병선 ,  오용호 ,  양전욱 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1995.12 학술대회자료
미해상회절 마스크 광리소그레피를 이용한 T-형 패턴 게이트 형성기술 ( T-shaped Gate Metal Formation by using Optical Lithography Technique with Dummy Diffraction Mask )
박병선 ,  오용호 ,  양전욱 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1995.11 학술대회자료
T-형 게이트 패턴 형성을 위한 포토마스크 구조 및 리소그래피 공정
박병선 ,  오용호 ,  정해빈 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1995.01 학술대회자료

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