Reactive RF Magnetron Sputtering에 의해 성장된 Si(100)과 Si(111) 기판 위에 증착된 CeO₂ 박막의 구조적, 전기적 특성

김진모 ,  김이준 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Ce Target을 사용한 Reactive RF Magnetron Sputtering에 의해 Si(100) 기판 위에 증착된 CeO₂ 박막의 구조적, 전기적 특성

김이준 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Indium이 도핑된 CeO₂ / Si박막과 Si / CeO₂ / Si박막의 발광 현상

문병식 ,  양지훈 ,  김관표 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

MBE를 이용한 Si(100) 기판위에 ZnO 박막 성장

손병철 ,  박강순 ,  강희재

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

RF magnetron sputtering법으로 성장시킨 ZnO박막의 광특성과 grain size의 영향에 관한 연구

김경국 ,  박성주 ,  정형진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

CeO₂(111) / Si(111)위에 성장된 실리콘 박막 특성분석

양지훈 ,  문병식 ,  박종윤

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성

김종욱 ,  김민석 ,  이인환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Si(001) 기판위에 Solid Source Si MBE 로 성장된 SiGe 박막의 결정성 상전이현상에 관한 연구

이승창 ,  윤선진 ,  이정용

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Ferromagnetic Resonance of RF Magnetron Sputtered Fe - Si₃N₄ Thin Films

W. K. Kang ,  W. Y. Lim ,  J. S. Baek

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2000 .05

In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO₂/Si

F ,  anco ,  Vinicius C. De 외 10명

Carbon letters

2017 .01

p - Si0.83Ge0.17 / Si(001)기판위에 Si capping layer를 이용하여 형성시킨 nickel silicide의 전기적 및 구조적 특성

장치환 ,  신동욱 ,  이내응 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn²⁺의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장

박재홍 ,  이성훈 ,  하성진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Si(001)2×1 표면에 성장된 극초박막에 관한 연구

Hyun-Jeong Kim ,  Robe ,  t L. Johnson

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Si / In / CeO₂ / Si박막의 Indium분포와 photoluminescence

문병식 ,  양지훈 ,  김종걸 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

YSZ / Si(111)위에 성장된 CeO₂ 박막의 특성분석

양지훈 ,  문병식 ,  박종윤

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명박막트랜지스터 특성 연구

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films

김윤해 ,  이석규 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 RF 파워 및 공정 압력이 미치는 영향

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

DC/RF Magnetron Co-Sputter를 이용하여 성막한 유기 태양 전지용 Si-Doped In₂O₃ (ISO) 박막의 특성 연구

이혜민 ,  강신비 ,  정권범 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02