Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering

Chil-Hyoung Lee ,  Doo-Jin Choi ,  Young-Jei Oh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Fabrication and characterization of half - metallic (Fe₃O₄) thin film using a RF magnetron sputtering system

이성복 ,  홍진표 ,  김채옥 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

RF - Magnetron co - sputtering법으로 제작한 ZnO : Fe 박막의 강자성 원인연구

유장현 ,  권순주

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2005 .12

Study on ZnS Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Magnetic and Structural Studies on Fe Doped ZnO thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

Soo-Young Seo ,  Chang-Ha Kwak ,  Seon-Hyo Kim

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .12

The Structural and Physical Properties of Ti films by RF magnetron sputtering

송용화 ,  정충경 ,  부진효

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn²⁺의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장

박재홍 ,  이성훈 ,  하성진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Rf magnetron sputtered Co79Cr₂₁ 박막의 자기이방성

백종성 ,  김약연 ,  임우영 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1991 .05

Structural and Optical Properties of CdS Thin Films Deposited by R.F. Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Growth of ZrO₂ Thin Films Using RF Magnetron Sputtering and Study of Their Surface Characteristics

Yong Sup Sin ,  In Seob Bae ,  Hyon Tae Kwak 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

High rate deposition of poly - si thin films using new magnetron sputtering source

Jin-Hyo Boo ,  Heon Kyu Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Structural and morphological properties change of Zn and Sn thin films by sputter time

이석희 ,  박주연 ,  최아롬 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Characterization of Deposited PZT Thin Film by RF Magnetron Co-sputtering on Si(100) at various O₂ gas ratio

Sujin Choi ,  Juyun Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Study on Optical and Electrical Properties of IGZO Thin Film According to RF Power Fabricated by RF Magnetron Sputtering

장야쥔 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Structural and Optical Properties of Copper Indium Gallium Selenide Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering

Seon Mi Kong ,  Rong Fan ,  Dong Chan Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Structural and Electrical Properties of a-axis ZnO:Al Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering

봉성재 ,  김선보 ,  안시현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Si(100), Si(111)기판위에 RF - magnetron sputtering법으로 성장된 CeO₂박막의 특성

장선희 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Effect of 12CaOㆍ7Al₂O₃thin film in reactive gasses by RF magnetron sputtering system

Phan Huu Tai ,  C. H. Jung ,  Y. K. Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08