Si 기판위에 ICB법에 의해 적층 성장된 yttrium oxide 박막의 결정성에 대한 Oxygen Resonance BS / Channeling 연구

김효배; 조만호; 황보상우; 황정남; 최성창; 최원국; 송종한

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저자정보: 김효배 조만호 황보상우 황정남 최성창 최원국 송종한

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제13회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1997.7

수록면: 124 - 124 (1page)

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1997

실리콘 기판 위에 UHV - ICB 증착법으로 적층 성장된 Y₂O₃박막의 BS / channeling 연구

김효배 , 조만호 , 황보상우 외 5명 Applied Science and Convergence Technology 1997.08 학술저널

Si 기판위에 ICB법에 의해 적층 성장된 yttrium oxide 박막의 결정성에 대한 Oxygen Resonance BS / Channeling 연구

김효배 , 조만호 , 황보상우 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.07 학술대회자료

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