Si(100)기판 위에 증착된 CeO₂(200)박막과 CeO₂(111)박막의 전기적 특성 비교

이헌정; 김진모; 김이준; 정동근

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이헌정 김진모 김이준 정동근

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제18회 학술발표회논문개요집

발행연도: 2000.2

수록면: 67 - 67 (1page)

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