이온 클러스터빔에의한 구리박막제작

Won-Kook Choi ,  Ki-Han Kim ,  Young-Soo Yoon 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Tin Oxide Thin Film Deposition for Gas Sensor by Reactive Ionized Cluster Beam(R - ICB)

Won-Kook Choi ,  Seok-Kyun Song ,  Hyung-Jin Jung 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Development and Experimental investigation of new type ICB

H.G. Jang ,  W.K. Choi ,  S.G. Kond 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

ICB 증착 장비 개발 및 이 장비를 이용한 Cu 박막 제작

이지연 ,  김철호 ,  송석균 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Si 기판위에 ICB법에 의해 적층 성장된 yttrium oxide 박막의 결정성에 대한 BS / Channeling 연구

조만호 ,  김효배 ,  황보상우 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Hybrid ion beam을 위한 ICB 장치 개발과 Sn metal beam 특성 조사

송석균 ,  이지연 ,  김철호 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Si 기판위에 ICB법에 의해 적층 성장된 yttrium oxide 박막의 결정성에 대한 Oxygen Resonance BS / Channeling 연구

김효배 ,  조만호 ,  황보상우 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Deposition of Cu thin films on glass substrate by Ionized Cluster Beam deposition for laser mirror at room temperature

Y. S. Yoon ,  K. H. Kim ,  H. J. Jung 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Ionized Cluster Beam Deposition 방법을 이용한 Polyimide 박막의 제작 및 특성

김기원 ,  최성창 ,  노효상 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

Structural property of Cu thin films grown by Ionized cluster beam deposition

Y. S. Yoon ,  K. H. Kim ,  H. J. Jung 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

ICBD(Ionized Cluster Beam Deposition) 방법에 의한 Patterned Si 기판위 Cu박막의 Step coverage와 평탄화 기술 연구

백민 ,  김경현 ,  최규석 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Cu films on Polyimide deposited by an Ionized Cluster Beam

Won-Kook Choi ,  Ki-Hwan Kim ,  Hyung-Jin Jung 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

실리콘 기판 위에 UHV - ICB 증착법으로 적층 성장된 Y₂O₃박막의 BS / channeling 연구

김효배 ,  조만호 ,  황보상우 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1997 .08

Deposition of Cu films on Si substrate by Partially Ionized Beam deposition and Ion beam sputtering

Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Cu MOCVD에서 구리 박막 성장에 미치는 기판의 영향

김경열 ,  황의성 ,  이지화

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

절연보호막 처리된 Al - 1%Si 박막배선의 Electromigration에 대한 길이 의존성 및 Cu 박막배선의 Electromigration 저항성 변화에 대한 연구

양인철 ,  김진영

Applied Science and Convergence Technology

1995 .12

Chemical and Crystalline Properties of Polyimide Film Deposited by Ionized Cluster Beam

김기원 ,  최성창 ,  김성수 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

착화탄 연소에 의한 일산화탄소 중독사에서 자살입증에 관한 사례연구

성태명 ,  조주익 ,  안필상

분석과학

2015 .12

Substrate temperature dependence of crystalline Y₂O₃ films grown by Ionized Cluster Beam Deposition

M.H.Cho ,  S.W.Whangbo ,  J.G.Seo 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Ionized Cluster Beam 증착방법을 이용한 Indium - Tin - Oxide(ITO) 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구

최성창 ,  황보상우 ,  조만호 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1996 .03