지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1998.2
- 수록면
- 39 - 40 (2page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Diffusion barrier characteristics of Hf(C,N) thin films for Cu metallization was investigated. Hf(C,N) thin films were deposited on Si (100) substrates by pulsed D.C. plasma enhanced metal-organic chemical vapor deposition (PE-MOCVD) using Tetrakis diethyl amido hafnium (Hf[N(C₂H_5)₂]₄ : TDEAHf) a ... 전체 초록 보기
목차
요약
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 토의
4. 결론
5. 참고 문헌
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Excellent magnetic properties of Co52.5Fe22.5Hf₁₀O₁₅ thin films
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2006 .11
-
Fe - Hf - O계 박막에서 조성이 미세구조 및 연자기 특성에 미치는 효과
한국자기학회지
1997 .10
-
Synthesis, Structural Details and Induction of Superconductivity in Ga1-xPbxSr₂Y1-yCayCU₂O₇ (x＝0.0 to 0.6 & y＝0.0 to 0.5)
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2008 .12
-
Inverse Magnetoresistance in the Simple Spin Valve System Fe1-xCrx/Cu/Co
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2007 .05
-
Si (111)표면에서 Cu의 확산
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
-
C - V 측정에 의한 Cu 확산방지막 특성 평가
Applied Science and Convergence Technology
1996 .12
-
ULSI용 Electroplating Cu 박막의 미세조직 연구
Applied Science and Convergence Technology
2000 .09
-
배출원 주변지역의 HF 농도 분포 ( Distribution of HF Concentration Around Source )
한국대기환경학회 학술대회논문집
2000 .11
-
확산 방지막의 표면 세정이 촉매 Cu - MOCVD에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
-
플라즈마 보조 유기금속 화학기상 증착법에 의한 MCN(M=Ti, Hf) 코팅막의 저온성장과 그들의 특성연구
Applied Science and Convergence Technology
2006 .11
-
Cu MOCVD에서 구리 박막 성장에 미치는 기판의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
-
Tungsten Nitride Film Growth by MOCVD for Cu Diffusion Barrier
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
-
Fe - Hf - O계 박막에서 산소 분압 변화가 박막특성에 미치는 영향
한국자기학회지
1997 .10
-
나노결정구조 Fe - Hf - O 박막의 미세구조 및 연자기 특성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
1997 .11
-
Cu 박막의 특성개선을 위한 플라즈마를 이용한 H₂ 전처리 효과
Applied Science and Convergence Technology
1999 .08
-
접합유리와 반응된 Fe - Hf - N 박막의 연자기 특성
한국자기학회지
2003 .02
-
운반기체와 Ligand의 첨가가 MOCVD Cu 증착에 미치는 영향에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2000 .09
-
Preparation of Metallic Cu Thin Films by MOCVD Using Novel Organometallic Cu(II) Precursors
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
-
Preparation of HfO₂ thin films by MOCVD using the novel single precursor, Hf(mp)₄
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
-
XPS를 이용한 Cu / Polyimide 계면에 관한 연구 : 상온에서 증착한 Cu의 초기성장과정(I)
Applied Science and Convergence Technology
1997 .08
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018027492