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LS - MOCVD 법에 의한 BaTiO3 박막의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Low-temperature growth of wafer-scale MoS2 by MOCVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
MOCVD로 성장한 산화아연 박막의 Ⅵ/Ⅱ족 비율에 따른 구조적 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
MOCVD 법을 이용한 ZnO 박막의 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
급속열처리에 의한 MOCVD - Cu / TiN / Si 구조의 후열처리 특성
Applied Science and Convergence Technology
1997 .02
MOCVD 장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
MOCVD 공정으로 성장된 ZnO박막의 texture 제어 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
원자층 증착법에 의한 구리 박막 성장에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
글로우방전 질량분석법을 이용한 구리 박막내의 미량불순물 분석 : 음의 기판 바이어스에 의한 불순물원소의 농도변화
Applied Science and Convergence Technology
2005 .03
InP(100) 기판 위에 MOCVD로 성장한 InAs Island의 Morphology 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
전처리 조건에 따른 구리박막 표면에서의 특성변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
MBE와 MOCVD를 이용하여 LAO 기판위에 성장된 GaN의 특성비교
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
확산 방지막의 표면 세정이 촉매 Cu - MOCVD에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
SiO₂ 기판 위에서의 MOCVD TiN 반응성에 관한 조사
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
Cobalt 박막의 선택적 증착을 위한 MOCVD공정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
Preparation of Metallic Cu Thin Films by MOCVD Using Novel Organometallic Cu(II) Precursors
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
MOCVD법을 이용한 InN 에피 성장 및 2단계 성장법이 박막의 표면 및 구조적 성질에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
MOCVD법에 의한 Ruthenium 박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
PE - MOCVD로 증착된 Hf(C,N)박막의 Cu에 대한 확산 방지 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
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