Cu MOCVD에서 구리 박막 성장에 미치는 기판의 영향

김경열; 황의성; 이지화

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김경열 황의성 이지화

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제10회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1996.2

수록면: 89 - 90 (2page)

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이지화

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018024062

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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