Helicon Wave Plasma CVD 방법에 의한 SiOF 박막형성

최치규 ,  오상식 ,  이광만 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

질소 Helicon Wave Plasma의 진단

김기성 ,  전찬욱 ,  김선효

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Development of Helicon Plasma Sources and Applications

장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Modeling on discharge characteristics of helicon plasmas

Suwon Cho

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

R.F. plasma assisted CVD로 합성한 BN, BCN 박막의 물성과 구조 연구

김홍석 ,  백영준 ,  최인훈

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Experimental Research of an ECR Heating with R-wave in a Helicon Plasma Source

Ku dongjin ,  AN C. Y ,  Pa 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Helicon Wave Excitation of M=+1, ±1 and ±2 Modes

Jung-Hyung Kim ,  Seok-Min Yun ,  Hong-Young Chang

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

On the Possibility of Multiple ICP and Helicon Plasma for Large-area Processes

J.W. Lee ,  Sang-Hyuk An ,  Hong-Young Chang

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Experimental Study of an rf antenna immersed in a helicon plasma

Rod.Boswell

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

c - BN박막의 기계적 물성에 관한 연구

이성훈 ,  변응선 ,  이건환 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

End Plate Effect of Helicon Plasma with Permanent Magnet

안상혁 ,  이진원 ,  김용훈 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

c - BN박막의 박리특성 향상에 관한 연구

이성훈 ,  변응선 ,  이건환 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Ab Initio Investigations of Shapes of the h-BN Flakes on Copper Surface in Relation to h-BN Sheet Growth

Junga Ryou ,  Suklyun Hong

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Methanation of CO₂ by low pressure helicon plasma discharge

Susumu TOKO ,  Ryu KATAYAMA ,  Kazuno 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

마이크로 소자용 Pb(Zr,Ti)O₃ 박막의 Helicon Plasma Source를 이용한 식각 공정 및 특성

전성진 ,  박준식 ,  박광범 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Study on Argon Metastable and 4p State Neutral Atoms in Magnetized ICP and Helicon Plasmas Measured by Laser Induced Fluorescence and Plasma Emission

서병훈 ,  유신재 ,  김정형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

국산 목질판상재의 반감기 결정방법에 관한 연구

장윤성 ,  한연중 ,  박준호 외 4명

목재공학(Journal of the Korean Wood Science and Technology)

2014 .01

고밀도 Helicon plasma를 이용한 저유전율의 SiOF박막 증착 연구

김정형 ,  서상훈 ,  윤석민 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

c - BN박막의 박리현상에 미치는 공정인자의 영향

이성훈 ,  변응선 ,  이건환 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Formation and Characteristics of the Fluorocarbonated SiOF Film by O₂ / FTES - Helicon Plasma CVD Method

Kyoung-Suk Oh ,  Min-Sung Kang ,  Chi-Kyu Choi 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02