Development of Helicon Plasma Sources and Applications

장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Modeling on discharge characteristics of helicon plasmas

Suwon Cho

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

질소 Helicon Wave Plasma의 진단

김기성 ,  전찬욱 ,  김선효

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Experimental Research of an ECR Heating with R-wave in a Helicon Plasma Source

Ku dongjin ,  AN C. Y ,  Pa 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

On the Possibility of Multiple ICP and Helicon Plasma for Large-area Processes

J.W. Lee ,  Sang-Hyuk An ,  Hong-Young Chang

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

End Plate Effect of Helicon Plasma with Permanent Magnet

안상혁 ,  이진원 ,  김용훈 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Methanation of CO₂ by low pressure helicon plasma discharge

Susumu TOKO ,  Ryu KATAYAMA ,  Kazuno 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Helicon Wave Excitation of M=+1, ±1 and ±2 Modes

Jung-Hyung Kim ,  Seok-Min Yun ,  Hong-Young Chang

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Study on Argon Metastable and 4p State Neutral Atoms in Magnetized ICP and Helicon Plasmas Measured by Laser Induced Fluorescence and Plasma Emission

서병훈 ,  유신재 ,  김정형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

An Experimental Study on Multiple ICP & Helicon Source for Oxidation in Semiconductor Process

Jin-Won Lee ,  Byoung-keun Na ,  Sang-Hyuk An 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Helicon Discharge Plasma Source and Laser Thomson Scattering System in KRISS

서병훈 ,  유신재 ,  김정형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

유한한 폭을 고려한 helicon 방전 장치의 impedance 계산

박병호 ,  윤남식 ,  최덕인

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Helicon Wave Plasma CVD 방법에 의한 SiOF 박막형성

최치규 ,  오상식 ,  이광만 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

헬리콘 플라즈마에서 이온 에너지 분포 및 플라즈마 전위에 관한 연구

김정형 ,  서상훈 ,  장홍영

Applied Science and Convergence Technology

1995 .06

마이크로 소자용 Pb(Zr,Ti)O₃ 박막의 Helicon Plasma Source를 이용한 식각 공정 및 특성

전성진 ,  박준식 ,  박광범 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

고밀도 Helicon plasma를 이용한 저유전율의 SiOF박막 증착 연구

김정형 ,  서상훈 ,  윤석민 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

대면적 고밀도 공정을 위한 다수 Helicon 방전

안상혁 ,  유대호 ,  장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

HWP(Helicon Wave plasma) CVD 법에 의해 제조된 c - BN 박막의 온도에 따른 상 변화 관찰

김경보 ,  전찬욱 ,  김선효

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Development of the DC-RF Hybrid Plasma Source

김지훈 ,  천세민 ,  강인제 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Plasma impedance matching technique for bio plasma RF source

Kwang Ho JANG ,  Bo Ki KIM ,  Jin Joo CHOI 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08